[发明专利]微机械振动系统

说明书

本发明涉及一种微机械振动系统(6a)，该微机械振动系统包括带有至少一个微镜(4)的微机械振动体。该微机械振动系统(6a)附加地包括具有线圈体(30a、30b)和至少一个磁铁(50a、50b)的电磁驱动单元。所述线圈体(30a、30b)相对于所述微镜(4)基本上在侧面延伸。所述至少一个磁铁(50a、50b)在所述线圈体(30a、30b)下方延伸。本发明还涉及一种所述微机械振动系统(6a)的微投影设备(220)。

技术领域

本发明涉及一种微机械振动系统、尤其是微镜组件，以及一种具有微机械振动系统的微投影设备。

背景技术

文献US 2014/0185117 A1示出一种微镜组件，在该微镜组件中，相对于线圈在侧面布置有两个磁铁作为微镜组件的电磁驱动单元。

发明内容

由此出发，本发明所基于的任务在于，开发一种替代的用于微机械振动系统的电磁驱动单元，其中，尤其简化了至少一个磁铁的装配。

为了解决该任务，根据本发明，提出一种微机械振动系统、尤其是微镜组件，所述微机械振动系统包括带有至少一个微镜的微机械振动体和具有线圈体和至少一个磁铁的电磁驱动单元，其中，所述线圈体对于所述微镜基本上在侧面、尤其在沿所述微镜的对称轴线的方向的俯视图中在侧面延伸，所述至少一个磁铁在所述线圈体下方、尤其在沿所述微镜的对称轴线的方向的俯视图中在所述线圈体下方延伸。

根据本发明，还提出一种具有所述微机械振动系统的微投影设备。

尤其构造为微镜组件的微机械振动系统包括带有至少一个微镜的微机械振动体。与此相关地，微镜尤其构造为用于围绕第一旋转轴线和/或第二旋转轴线实施一维的或者二维的旋转。为了微镜的这种旋转，微机械振动系统附加地具有电磁驱动单元，该电磁驱动单元具有线圈体和至少一个磁铁。线圈体相对于微镜基本上在侧面、尤其在微镜的沿对称轴线的方向的俯视图中在侧面延伸。微镜的对称轴线尤其指的是垂直地延伸穿过微镜的第一主延伸平面并且穿过微镜的中心点的轴线。由于线圈体相对于微镜基本上在侧面延伸并且因此框架式包围该微镜，因此，在微镜下方几乎不需要安装用于线圈体的绝缘层和/或导电层。这样的绝缘层和/或导电层能够导致微镜的固有应力和不期望的拱曲。电磁驱动单元的磁铁在线圈体下方、尤其在微镜的沿对称轴线的方向的俯视图中在线圈体下方延伸。优选地，线圈体相对于微镜基本上完全在侧面、尤其在微镜的沿对称轴线的方向的俯视图中完全在侧面延伸。因此，在微镜下方不需要能够导致微镜的不期望的拱曲的绝缘层和/或导电层。

优选地，微机械振动系统附加地包括线圈支架，该线圈支架用于承载线圈体。在此，线圈支架与微镜在共同的第一主延伸平面中延伸。优选地，线圈支架同样相对于微镜在侧面延伸并且因此框架式包围该微镜。优选地，线圈体在第二主延伸平面中延伸，磁铁在第三主延伸平面中延伸。在此，第一主延伸平面、第二主延伸平面和第三主延伸平面彼此平行地布置。

优选地，磁铁相对于线圈体这样布置，使得该线圈体基本上布置在磁铁的磁场线的垂直于主场的散射场内。由此变得可能的是，将磁铁放置在线圈的背侧上。在此，散射场优选垂直于旋转轴线且在线圈体的第二主延伸平面中延伸。

优选地，微镜构造为硅构件。通过构造为硅构件，产生如下可能性：将微镜构造得尽可能薄。优选，线圈支架和/或微机械振动体的弹簧同样构造为硅构件。在这种情况下优选，完整的微机械振动体在共同的主延伸平面中延伸。优选，与此相关地，完整的微机械振动体一件式地构造为硅构件。