[发明专利]一种微波等离子体控制系统和方法

权利要求书

1.一种微波等离子体控制系统，其特征在于，包括主控装置、气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置，所述主控装置与所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置均通信连接；

所述主控装置用于根据目标参数和采集的所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置的工作数据，向所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置分别发送对应的控制指令；

所述气路控制装置用于根据所述控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比；

所述真空压力控制装置用于根据所述控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关；

所述水路控制装置用于根据所述控制指令控制所述样品台温度和水流量。

2.如权利要求1所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述气路控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；

若成功，所述气路控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若所述控制指令为读指令，则获取所述气体开关的状态信息和气体反馈值，并向所述主控装置反馈所述气体开关的状态信息和气体反馈值；

若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制气体流量配比和所述气体开关的开关。

3.如权利要求1所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述真空压力控制装置还用于采集所述腔内真空值，并将所述真空值进行模数转换，并向所述主控装置反馈转换后的真空值。

4.如权利要求3所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述真空压力控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；

若成功，所述真空压力控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若所述控制指令为读指令，则获取相序状态，并向所述主控装置反馈所述相序状态；

若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制所述样品台位置、墙板位置和腔盖开关，并将所述样品台的状态信息、所述腔内真空状态信息反馈至所述主控装置。

5.如权利要求1所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述水路控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；

若成功，所述水路控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若所述控制指令为读指令，则获取水流量信息和温度信息，并将所述水流量信息和温度信息反馈至所述主控装置；

若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制所述样品台温度和水流量。

6.如权利要求1所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述微波等离子体控制系统还包括视觉交互装置，所述视觉交互装置与所述主控装置通信连接；

所述视觉交互装置用于实时采集所述腔内的图像信息，并将所述图像信息发送至所述主控装置；

所述主控装置还用于根据所述图像信息进行运算处理获得籽晶生长状态信息。

7.如权利要求1所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述主控装置还用于响应用户操作，获得所述目标参数；

或所述主控装置还用于根据预先设置的自动工艺流程，获得所述目标参数。