[发明专利]感光树脂组合物、感光树脂组合物薄膜以及图案化的固化物在审
申请号: | 202210008077.8 | 申请日: | 2022-01-06 |
公开(公告)号: | CN114326306A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 王元强;周小明;肖桂林;鲁丽平;朱双全 | 申请(专利权)人: | 武汉柔显科技股份有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;H01L23/29;H01L51/52 |
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地址: | 430057 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光 树脂 组合 薄膜 以及 图案 固化 | ||
1.一种感光树脂组合物,其特征在于,包含聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A、添加剂B、分子内具有2个以上环氧基团的化合物C以及重氮萘醌磺酸酯E;其中,所述添加剂B为结构式(1)所示的分子内同时包含有羟基和羧基或同时包含有羟基和酯基的化合物;
所述结构式(1)中,m为1~4的整数,R4表示氢原子或碳原子数为1~5的烷基,R5表示氢原子,羟基,羧基,酯基,碳原子数为1~5的烷基,n表示0~5的整数,k,o,l,q分别表示0~5的整数。
2.根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A包含如结构式(2)所示的结构中的一种或多种组合;
或/和或/和
所述结构式(2)中Q表示碳原子数2~30,含有0~4个羟基,羧基中的至少任意一种的2~6价的有机基团;D表示碳原子数2~50,含有0~4个羟基,羧基,酯基中的至少任意一种的2~6价的有机基团,R7表示氢原子或碳原子数为1~8的有机基团。
3.根据权利要求2所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述结构式(2)所示结构中的D表示包含以下如结构式(3)所示结构片段中的至少一种;
所述结构式(3)中R1,R2表示碳原子数为1~3的烷基或烷氧基,羟基,羧基以及氟、氯、溴取代基;p表示0~2的整数;R3表示氢原子、碳原子数为1~3的烷基;R6表示氢原子,碳原子数为1~3的烷基或烷氧基以及氟、氯、溴取代基,X表示酰胺键或醚键中的一种。
4.根据权利要求2所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述结构式(2)所示结构中的Q表示包含以下四羧酸二酐所对应的二酐残基中的一种或多种组合:均苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐、2,2',3,3'-联苯四甲酸二酐、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯醚二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯酮二酐、3,3',4,4'-四羧酸二苯磺酰二酐、4,4'-六氟异丙基邻苯二甲酸酐、4,4'-异丙基邻苯二甲酸酐、9,9'-双(3,4-二羧基苯基)芴二酸酐、环丁烷四甲酸二酐、环己烷四甲酸二酐。
5.根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述添加剂B包含结构式(4)所示的化合物中的一种或多种组合。
6.根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征在于,分子内具有2个以上环氧基团的化合物C包含以下化合物中的一种或多种组合:双酚A型环氧化合物、氢化双酚A型环氧化合物、双酚F型环氧化合物、双酚S型环氧化合物、氢化双酚F型环氧化合物、溴化双酚A型环氧化合物、联苯型环氧化合物。
7.根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述添加剂B与聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A的质量比介于0.01~0.5之间,所述分子内具有2个以上环氧基团的化合物C与聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A的质量比介于0.01~0.6之间。
8.一种感光树脂组合物薄膜,其特征在于,使用如权利要求1~7中任意一项所述的感光树脂组合物经过涂布,干燥后制备而来。
9.一种图案化的固化物,其特征在于,包含使用如权利要求8所述的感光树脂组合物薄膜经过曝光,显影,固化程序制备而来。
10.根据权利要求9所述的图案化的固化物,其特征在于,所述图案化的固化物用于制造有机电致发光元件的绝缘层、像素定义层以及半导体元件的表面保护膜、绝缘层。
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