[发明专利]感光树脂组合物、感光树脂组合物薄膜以及图案化的固化物

说明书

本发明提供一种感光树脂组合物，包含聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A、添加剂B、分子内具有2个以上环氧基团的化合物C以及重氮萘醌磺酸酯E，其中，所述添加剂B为结构式(1)所示的分子内同时包含有羟基和羧基或同时包含有羟基和酯基的化合物；本发明中所涉及的感光树脂组合物在显影过程中膜厚损失小，低曝光量即可获得精细图像，且所述感光树脂组合物经过热处理固化后的固化膜表现出较强的耐热性与耐化学药品性。

技术领域

本发明属于光电显示及半导体制造技术领域，具体涉及一种感光树脂组合物、感光树脂组合物薄膜以及图案化的固化物。

背景技术

近年来，随着显示发光元件以及半导体元件的细微化，对表面保护膜、层间绝缘膜和像素定义层等也要求μm级别甚至以下的分辨率及高敏感度，同时由于制程与加工工艺的要求，对感光材料的耐热性、电绝缘性和耐化学品性提出了很高的要求。因此，由本身具有良好耐热性和电绝缘性的聚酰亚胺、聚苯并噁唑、酚醛树脂等得到的高感光性树脂组合物在该领域得到广泛的关注与应用，特别是经紫外光曝光后，曝光部分可溶解于碱水溶液的正型感光性树脂组合物。

目前常用的方法是向在碱液中具有良好溶解性的耐热性树脂或其前体中，加入具有感光活性的阻溶性化合物—重氮萘醌化合物，通过重氮萘醌基团的氢键作用、静电作用以及碱催化耦合作用等抑制未曝光区在碱液中的溶解，曝光后重氮萘醌基团发生分解，转化为羧基，溶解抑制作用消失并增大曝光区的溶解性。可举出如聚酰胺酸中加入重氮萘醌化合物的树脂组合物，含羟基聚酰亚胺中加入重氮萘醌化合物的树脂组合物等体系(专利文献EP0023662A1，CN1275094C，CN105820338A，TW201809072A，EP1037112A1，J.Photopolym.Sci.Tech.,2007,20,175)。此外，为了提高遮光区与曝光区的溶解对比度，降低曝光量，常在树脂体系中加入酚类化合物(CN1246389C)。然而，重氮萘醌化合物、羟基以及酚类化合物的引入，容易导致热处理后固化膜的耐热性与耐药品性变差的问题，以及显影过程中膜减薄与曝光量之间难以平衡的问题。

发明内容

针对现有技术总存在的热处理后固化膜耐热性和耐药品性变差的问题，以及显影过程中膜减薄与曝光量之间难以平衡的问题，本发明第一方面提供了一种感光树脂组合物，包含聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A、添加剂B、分子内具有2个以上环氧基团的化合物C以及重氮萘醌磺酸酯E；其中，所述添加剂B为结构式(1)所示的分子内同时包含有羟基和羧基或同时包含有羟基和酯基的化合物；

所述结构式(1)中，m为1～4的整数，R₄表示氢原子或碳原子数为1～5的烷基，R₅表示氢原子，羟基，羧基，酯基，碳原子数为1～5的烷基，n表示0～5的整数，k，o，l，q分别表示0～5的整数；

进一步的，所述聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A包含如结构式(2)所示的结构中的一种或多种组合；

所述结构式(2)中Q表示碳原子数2～30，含有0～4个羟基，羧基中的至少任意一种的2～6价的有机基团；D表示碳原子数2～50，含有0～4个羟基，羧基，酯基中的至少任意一种的2～6价的有机基团，R₇表示氢原子或碳原子数为1～8的有机基团；

进一步的，所述结构式(2)所示结构中的D表示包含以下如结构式(3)所示结构片段中的至少一种；

所述结构式(3)中R₁，R₂表示碳原子数为1～3的烷基或烷氧基，羟基，羧基以及氟、氯、溴取代基；p表示0～2的整数；R₃表示氢原子、碳原子数为1～3的烷基；R₆表示氢原子，碳原子数为1～3的烷基或烷氧基以及氟、氯、溴取代基，X表示酰胺键或醚键中的一种；