[发明专利]一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法

权利要求书

1.一种钛铜合金蚀刻液，其特征在于，包括：

无机酸，用于提供酸性环境的氢离子，所述氢离子在蚀刻液中的摩尔浓度为1mol/L-5mol/L；

铜盐，用于提供与钛铜合金发生氧化反应铜离子，所述铜盐的在蚀刻液中质量浓度为50g/L-500g/L；

缓蚀剂，用于在蚀刻时附着在钛铜合金的侧壁，减少侧蚀，所述缓蚀剂在蚀刻液中的质量浓度为0.01g/L-0.1g/L。

2.根据权利要求1所述的钛铜合金蚀刻液，其特征在于，所述缓蚀剂为苯并三氮唑。

3.根据权利要求2所述的钛铜合金蚀刻液，其特征在于，所述苯并三氮唑在蚀刻液中的质量浓度为0.03g/L-0.06g/L。

4.根据权利要求1所述的钛铜合金蚀刻液，其特征在于，所述无机酸为盐酸。

5.根据权利要求1所述的钛铜合金蚀刻液，其特征在于，所述铜盐为氯化铜。

6.根据权利要求4所述的钛铜合金蚀刻液，其特征在于，还包括氯酸钠，用于提高蚀刻速度，所述氯酸钠在蚀刻液中质量浓度为5g/L-50g/L。

7.一种钛铜合金蚀刻方法，其特征在于，采用如权利要求1-6任一所述的蚀刻液进行蚀刻，包括：

提供带载体的钛铜合金箔；

在所述钛铜合金箔上形成掩膜，以遮挡不需要蚀刻的部分；

采用喷头以与所述钛铜合金箔呈预设的倾斜角度向所述钛铜合金箔喷洒所述蚀刻液，并进行至少两次蚀刻；

去除所述掩膜，并对所述蚀刻后的所述钛铜合金箔进行清洗和干燥。

8.根据权利要求7所述的钛铜合金蚀刻方法，其特征在于，所述倾斜角度为60°-80°。

9.根据权利要求8所述的钛铜合金蚀刻方法，其特征在于，每次蚀刻的时长为2min-3min。

10.根据权利要求9所述的钛铜合金蚀刻方法，其特征在于，当所述喷头位于所述钛铜合金箔下方时，所述喷头的喷压为0.12MPa，当所述喷头位于所述钛铜合金箔上方时，所述喷头的喷压为0.10MPa。