[发明专利]一种增强N型半导体稳定性的方法在审

专利信息
申请号: 202210013229.3 申请日: 2022-01-07
公开(公告)号: CN114361338A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 李立强;苑力倩;黄忆男;胡文平 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: H01L51/30 分类号: H01L51/30;H01L51/46;H01L51/54;C09D175/04;C09D7/63
代理公司: 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 代理人: 李艳芬
地址: 300072 天津市南开区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 增强 半导体 稳定性 方法
【权利要求书】:

1.抗坏血酸在增强N型半导体稳定性中的应用。

2.一种增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,在N型半导体器件表面构筑抗坏血酸薄膜。

3.根据权利要求2所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述抗坏血酸薄膜的制备方法为:将抗坏血酸溶液通过悬涂法、提拉法或滴注法均匀涂布在所述N型半导体器件表面,自然固化或者真空退火固化,所述抗坏血酸薄膜的厚度为2nm~1μm。

4.根据权利要求3所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述真空退火固化的温度为60℃,时间为1min~1h。

5.根据权利要求3所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述抗坏血酸溶液中抗坏血酸的浓度为1×10-3mol/ml~10mol/ml,所述抗坏血酸溶液中的溶剂为乙醇或水。

6.根据权利要求3所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述抗坏血酸溶液中还加入聚氨酯,按质量比计,聚氨酯:抗坏血酸=1:10~1000。

7.根据权利要求2所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述N型半导体器件为利用N型半导体薄膜或晶体制备的器件。

8.根据权利要求2所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述N型半导体器件的制备方法为:

(1)选用柔性或硬质基底及绝缘介电层,制备栅极导电电极;

(2)在所述栅极导电电极上构筑N型半导体层;

(3)在所述N型半导体层上沉积源、漏电极。

9.根据权利要求8所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,步骤(2)中构筑N型半导体层的方法为热蒸镀法、原子层沉积法、电子束蒸镀法、磁控溅射法、电镀法、旋涂法、提拉法、滴注法、PVT生长单晶法或剥离法,所述N型半导体层的厚度为0.5nm~1μm,所述N型半导体层为有机小分子半导体层、有机聚合物层或二维无机半导体层。

10.根据权利要求9所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述有机小分子半导体为C60、PTCDI-C8、PTCDA、PTCP-CH2C3F7、DCyNTDA、F16CuPc或HAT-CN;所述有机聚合物为N2200或BDPPV;所述二维无机半导体为BP、WS2或MoS2

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