[发明专利]一种增强N型半导体稳定性的方法在审
申请号: | 202210013229.3 | 申请日: | 2022-01-07 |
公开(公告)号: | CN114361338A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 李立强;苑力倩;黄忆男;胡文平 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | H01L51/30 | 分类号: | H01L51/30;H01L51/46;H01L51/54;C09D175/04;C09D7/63 |
代理公司: | 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 | 代理人: | 李艳芬 |
地址: | 300072 天津市南开区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 增强 半导体 稳定性 方法 | ||
1.抗坏血酸在增强N型半导体稳定性中的应用。
2.一种增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,在N型半导体器件表面构筑抗坏血酸薄膜。
3.根据权利要求2所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述抗坏血酸薄膜的制备方法为:将抗坏血酸溶液通过悬涂法、提拉法或滴注法均匀涂布在所述N型半导体器件表面,自然固化或者真空退火固化,所述抗坏血酸薄膜的厚度为2nm~1μm。
4.根据权利要求3所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述真空退火固化的温度为60℃,时间为1min~1h。
5.根据权利要求3所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述抗坏血酸溶液中抗坏血酸的浓度为1×10-3mol/ml~10mol/ml,所述抗坏血酸溶液中的溶剂为乙醇或水。
6.根据权利要求3所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述抗坏血酸溶液中还加入聚氨酯,按质量比计,聚氨酯:抗坏血酸=1:10~1000。
7.根据权利要求2所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述N型半导体器件为利用N型半导体薄膜或晶体制备的器件。
8.根据权利要求2所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述N型半导体器件的制备方法为:
(1)选用柔性或硬质基底及绝缘介电层,制备栅极导电电极;
(2)在所述栅极导电电极上构筑N型半导体层;
(3)在所述N型半导体层上沉积源、漏电极。
9.根据权利要求8所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,步骤(2)中构筑N型半导体层的方法为热蒸镀法、原子层沉积法、电子束蒸镀法、磁控溅射法、电镀法、旋涂法、提拉法、滴注法、PVT生长单晶法或剥离法,所述N型半导体层的厚度为0.5nm~1μm,所述N型半导体层为有机小分子半导体层、有机聚合物层或二维无机半导体层。
10.根据权利要求9所述的增强N型半导体稳定性的方法,其特征在于,所述有机小分子半导体为C60、PTCDI-C8、PTCDA、PTCP-CH2C3F7、DCyNTDA、F16CuPc或HAT-CN;所述有机聚合物为N2200或BDPPV;所述二维无机半导体为BP、WS2或MoS2。
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