[发明专利]一种增强N型半导体稳定性的方法在审

专利信息
申请号: 202210013229.3 申请日: 2022-01-07
公开(公告)号: CN114361338A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 李立强;苑力倩;黄忆男;胡文平 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: H01L51/30 分类号: H01L51/30;H01L51/46;H01L51/54;C09D175/04;C09D7/63
代理公司: 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 代理人: 李艳芬
地址: 300072 天津市南开区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 增强 半导体 稳定性 方法
【说明书】:

发明公开了抗坏血酸在增强N型半导体稳定性中的应用及一种增强N型半导体稳定性的方法,属于半导体材料技术领域。所述方法为在N型半导体器件表面构筑抗坏血酸薄膜,所述抗坏血酸薄膜的制备方法为:将抗坏血酸溶液通过悬涂法、提拉法或滴注法均匀涂布在所述N型半导体器件表面,自然固化或者真空退火固化。所述抗坏血酸溶液中还加入聚氨酯溶液。该方法采用氧消除的策略,抗坏血酸可以清除已加入N型半导体中的氧,消除禁带中的相关陷阱状态,防止N型半导体的进一步降解。利用本发明的方法所制备的N型半导体器件的迁移率等电学性能提升,操作稳定性和长时间存储稳定性均得到提高。

技术领域

本发明属于半导体材料技术领域,具体涉及一种增强N型半导体稳定性的方法。

背景技术

半导体材料因其结构多样、柔性、可大面积加工等优势,已经得到广泛的研究,可被应用于柔性显示、集成电路、电子皮肤等领域。相对于P型半导体,稳定性是N型半导体面临的主要问题,严重阻碍了互补电路和异质结集成的发展。众所周知,空气中的水、氧是造成N型半导体器件不稳定性的关键因素。虽然合成的N型半导体材料通常具有较低的最低未占据分子轨道能级(LUMO能级),较高的电子亲和能力,因此具备一定的抗氧化能力,但是在操作过程中产生的有机自由基阴离子在热力学上仍然不稳定,容易与水、氧及相关物种发生反应,从而引起强烈的电子俘获,甚至器件的退化。

目前已经报道的增强N型半导体稳定性方法主要是通过分子设计或封装策略,但这些方案都存在一些问题。例如,设计空气稳定型N型半导体时,通常的规则是引入特定的吸电子基团来降低LUMO能级。考虑到水和氧的还原电位,理论上LUMO必须达到至少-4.0eV才能阻止有机自由基阴离子的电子转移,这显然是一个巨大的挑战,并严重限制了N型半导体的实际使用种类范围。另一个常见的策略是封装。然而,即使不考虑制造工艺和相关成本的增加,器件的封装也不利于N型半导体在透明显示器、光电探测器和化学传感器等方面的应用。除此之外,目前并没有完美的封装层可以100%完全有效地阻隔水和氧的入侵。因此,以上的方案虽然已经使N型半导体器件得到很大的进展,但仍然急需一种全新的方案来有效地提升N型半导体材料的操作以及环境稳定性。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明的目的在于提供抗坏血酸在增强N型半导体稳定性中的应用及一种增强N型半导体稳定性的方法,该方法采用氧消除的策略,抗坏血酸不仅可以清除已加入N型半导体中的氧,消除禁带中的相关陷阱状态,并且防止N型半导体的进一步降解。此外,该策略可以抑制光漂白,显著提高N型半导体的光化学稳定性,进而实现N型半导体薄膜器件在环境条件下的长时间寿命。

为实现上述目的,本发明提供如下的技术方案:

本发明的技术方案之一,抗坏血酸在增强N型半导体稳定性中的应用。

本发明的技术方案之二,一种增强N型半导体稳定性的方法,在N型半导体器件表面构筑抗坏血酸薄膜。

进一步地,所述抗坏血酸薄膜的制备方法为:将抗坏血酸溶液通过悬涂法、提拉法或滴注法均匀涂布在所述N型半导体器件表面,自然固化或者真空退火固化,所述抗坏血酸薄膜的厚度为2nm~1μm。

进一步地,所述真空退火固化的温度为60℃,时间为1min~1h。

进一步地,所述抗坏血酸溶液中抗坏血酸的浓度为1×10-3mol/ml~10mol/ml,所述抗坏血酸溶液中的溶剂为乙醇或水。

进一步地,所述抗坏血酸溶液中还加入聚氨酯,按质量比计,聚氨酯:抗坏血酸=1:10~1000。

改变抗坏血酸的浓度或改变聚氨酯的加入量时,只要不会改变半导体薄膜的结构,就不会影响N型半导体器件的稳定性。

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