[发明专利]光罩夹取装置

权利要求书

1.一种光罩夹取装置，其特征在于，包括：

活动夹持机构，包括垂直对称设置的两个夹臂；

夹臂控制机构，分别与两个所述夹臂相连接，用于控制两个所述夹臂之间的相对距离，以控制所述活动夹持机构执行夹持或释放动作；

升降机构，所述升降机构与所述夹臂控制机构相连接。

2.根据权利要求2所述的光罩夹取装置，其特征在于，两个所述夹臂上分别设有夹块限位组件，且两个所述夹臂上的夹块限位组件相对设置。

3.根据权利要求2所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述夹块限位组件包括上限位块与下限位块，所述上限位块与所述下限位块上均设有限位槽，所述限位槽的两侧分别设有“V”型侧壁，且所述限位槽两侧的两个所述“V”型侧壁的尖头部相对而设。

4.根据权利要求3所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述下限位块底部设有底板，所述底板上开设有第一通孔。

5.根据权利要求3所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述上限位块的顶部与所述下限位块的顶部均呈斜面结构。

6.根据权利要求3所述的光罩夹取装置，其特征在于，各所述下限位块分别位于对应的所述夹臂的底端，各所述上限位块位于对应的所述下限位块的上侧，且各所述上限位块与对应的所述下限位块间隔预设距离。

7.根据权利要求3所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述上限位块与所述夹臂接触面上设有第一连接块，所述上限位块通过所述第一连接块上的第二通孔与对应的所述夹臂相连接；

所述下限位块与所述夹臂接触面上设有第二连接块，所述下限位块通过所述第二连接块上的第三通孔与对应的所述夹臂相连接。

8.根据权利要求1所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述夹臂控制机构包括两组动力组件、两组导向组件及两根支撑臂，各组所述动力组件依次通过对应的所述导向组件、所述支撑臂与对应的夹臂相连接，且所述支撑臂与所述夹臂相互垂直设置。

9.根据权利要求8所述的光罩夹取装置，其特征在于，各所述动力组件由气缸构成，各所述导向组件由导轨组件构成，所述导轨组件包括直线导轨及设于所述直线导轨上的滑块；

所述滑块分别与所述气缸的气缸活塞杆及对应的所述支撑臂相连接。

10.根据权利要求8所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述夹臂控制机构还包括基座，各组所述动力组件及所述导向组件均设于所述基座上，所述基座固定于所述升降机构上。