[发明专利]光罩夹取装置

说明书

本发明提供一种光罩夹取装置，包括：设有两个垂直对称设置夹臂的活动夹持机构、分别与两个所述夹臂相连接的夹臂控制机构，及与所述夹臂控制机构相连接的升降机构。采用本发明的光罩夹取装置可有效提高生产效率，并保障人员的安全性，并且无须扩大器皿的厚度，避免需要采用更多清洗剂来对光罩进行浸泡，节约了生产成本。

技术领域

本发明涉及机械技术领域，尤其涉及一种光罩夹取装置。

背景技术

随着国家对半导体集成电流产业的大力投资和扶持，晶圆厂如雨后春笋般拔地而起，在半导体制造的整个流程中，光罩(mask)制造为从版图到晶圆制造中间的一个过程，这一部分时流程衔接的关键部分。在光罩的制造过程中需要对其进行清洁，若采用人工处理的方式将光罩从清洗的溶液中取出则需要操作人员不停地进行重复劳动，同时由于溶液中存在一定的对人体有害的成分，故由人工取出光罩十分麻烦并且存在极大的风险。同时，由于人工操作难免会存在失误，因此，如何降低光罩生产过程中的风险便成为本领域技术人员急需解决的技术问题。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种光罩夹取装置，以提高生产光罩的效率及安全性。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光罩夹取装置，包括：

活动夹持机构，包括垂直对称设置的两个夹臂；

夹臂控制机构，分别与两个所述夹臂相连接，用于控制两个所述夹臂之间的相对距离，以控制所述活动夹持机构执行夹持或释放动作；

升降机构，所述升降机构与所述夹臂控制机构相连接。

在本发明一个优选实施例中，两个所述夹臂上分别设有夹块限位组件，且两个所述夹臂上的夹块限位组件相对设置。

在本发明一个优选实施例中，所述夹块限位组件包括上限位块与下限位块，所述上限位块与所述下限位块上均设有限位槽，所述限位槽的两侧分别设有“V”型侧壁，且所述限位槽两侧的两个所述“V”型侧壁的尖头部相对而设。

在本发明一个优选实施例中，所述下限位块底部设有底板，所述底板上开设有第一通孔。

在本发明一个优选实施例中，所述上限位块的顶部与所述下限位块的顶部均呈斜面结构。

在本发明一个优选实施例中，各所述下限位块分别位于对应的所述夹臂的底端，各所述上限位块位于对应的所述下限位块的上侧，且各所述上限位块与对应的所述下限位块间隔预设距离。

在本发明一个优选实施例中，所述上限位块与所述夹臂接触面上设有第一连接块，所述上限位块通过所述第一连接块上的第二通孔与对应的所述夹臂相连接；

所述下限位块与所述夹臂接触面上设有第二连接块，所述下限位块通过所述第二连接块上的第三通孔与对应的所述夹臂相连接。

在本发明一个优选实施例中，所述夹臂控制机构包括两组动力组件、两组导向组件及两根支撑臂，各组所述动力组件依次通过对应的所述导向组件、所述支撑臂与对应的夹臂相连接，且所述支撑臂与所述夹臂相互垂直设置。

在本发明一个优选实施例中，各所述动力组件由气缸构成，各所述导向组件由导轨组件构成，所述导轨组件包括直线导轨及设于所述直线导轨上的滑块；

所述滑块分别与所述气缸的气缸活塞杆及对应的所述支撑臂相连接。

在本发明一个优选实施例中，所述夹臂控制机构还包括基座，各组所述动力组件及所述导向组件均设于所述基座上，所述基座固定于所述升降机构上。

通过采用上述技术方案，本发明具有如下有益效果：