[发明专利]碳纤维的吸波材料的制备方法

权利要求书

1.一种碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，包括：

在真空镀膜机的至少一镀膜靶位上放置镀膜靶材；所述镀膜靶材作为形成吸波材料的溅射源，每一镀膜靶材对应于一镀膜靶位；

将所述碳纤维本体放置到真空镀膜机的镀膜炉中；

将所述镀膜炉抽真空至目标镀膜真空度，并将所述镀膜炉内温度加热至目标温度；

对所述镀膜炉充入工作气体；

对所述镀膜靶位通工作电流及施加工作电压，并对所述镀膜靶位上的所述镀膜靶材进行粒子轰击而溅镀所述碳纤维本体。

2.根据权利要求1所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，所述镀膜靶材包括硅靶材及至少一种非硅单质且非碳单质的吸波靶材；

在所述对所述镀膜炉充入工作气体之后，所述对所述镀膜靶位通工作电流及施加工作电压之前，所述方法还包括：

对所述镀膜炉充入可电离出碳元素的反应气体；

所述对所述镀膜靶位通工作电流及施加工作电压，包括：

在硅靶材的镀膜靶位通工作电流及施加工作电压，直至在所述碳纤维本体的表面上溅镀好碳化硅层；

在每一所述吸波靶材的镀膜靶位依次通工作电流及施加工作电压，直至在所述碳化硅层的外表面上溅镀好对应的吸波层。

3.根据权利要求1所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，所述镀膜靶材包括硅靶材、石墨靶材及至少一种非硅单质且非碳单质的吸波靶材；

所述对所述镀膜靶位通工作电流及施加工作电压，包括：

在硅靶材和石墨靶材的镀膜靶位同时通工作电流及施加工作电压，直至在所述碳纤维本体的表面上溅镀好碳化硅层；

在每一所述吸波靶材的镀膜靶位依次通工作电流及施加工作电压，直至在所述碳化硅层的外表面上溅镀好对应的吸波层。

4.根据权利要求2或3所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，所述非硅单质且非碳单质的吸波靶材包括碳化钨、镍、钡或铁氧体。

5.根据权利要求1所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，在所述在真空镀膜机的至少一镀膜靶位上放置镀膜靶材之前，所述方法还包括：

对碳纤维本体进行预处理。

6.根据权利要求5所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，所述预处理包括：表面粗化处理及表面杂质去除处理。

7.根据权利要求6所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，所述表面粗化处理包括：

将碳纤维本体放入50－60摄氏度的浓硫酸溶液中浸泡50－80分钟；

从浓硫酸溶液中取出所述碳纤维本体并用清水进行清洗；

将所述碳纤维本体放入到常温的饱和氢氧化钠水溶液中浸泡10－15分钟；

从饱和氢氧化钠水溶液中取出所述碳纤维本体并用清水进行清洗。

8.根据权利要求6所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，所述表面杂质去除处理包括：

将所述碳纤维本体浸泡在50-70摄氏度且0.5-2.5μs导电率的纯水中并进行超声波清洗；

对所述碳纤维本体进行烘干。

9.根据权利要求1所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，在完成溅镀所述碳纤维本体之后，所述方法还包括：

将所述镀膜炉内的气压恢复至大气常压并从中取出镀膜后的碳纤维本体。

10.根据权利要求1所述的碳纤维的吸波材料的制备方法，其特征在于，

所述工作气体为氩气；

抽真空后的所述镀膜炉内的本底真空度为5－7*10^-3Pa；

所述目标镀膜真空度为1－5*10^-1Pa；

所述目标温度为100－120摄氏度；

所述工作气体的充气速率为120－200SCCM；

所述工作电流10－30A，所述工作电压为300－700V；

溅镀后的所述碳纤维本体的表面上的所有吸波层的总厚度为50－500nm；

所述碳纤维本体在镀膜炉中每分钟的溅镀长度为0.5－3米；

所述镀膜靶位为至少两个，所述镀膜靶材对应为至少两种，且每种镀膜靶材的电磁吸波能力不同。