[发明专利]内连线结构在审
| 申请号： | 202210031627.8 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114530431A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 黄心岩;罗廷亚;李劭宽;邓志霖;李承晋;张孝慷;眭晓林 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L21/48 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连线 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种内连线结构，包括：
一介电层；
一第一导电结构，位于该介电层中；
一导电层，位于该介电层上，其中该导电层包括相邻的一第一部分与一第二部分，且该导电层的该第二部分位于该第一导电结构上；
一第一阻挡层，接触该导电层的该第一部分；
一第二阻挡层，接触该导电层的该第二部分；以及
一支撑层，接触该第一阻挡层与该第二阻挡层，其中一气隙位于该第一阻挡层与该第二阻挡层之间，且该介电层与该支撑层暴露至该气隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210031627.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光伏电站大面积寄生发电单元
- 下一篇：一种单自由度偏摆平台
