[发明专利]再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法有效
| 申请号： | 202210031877.1 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114405918B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 刘晓刚;黄来国;刘超;李仁杰;蔡广云;方斌 | 申请（专利权）人： | 合肥微睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B24B23/02;B24B55/02;C23C16/50;C23C16/54;H01J37/32 |
| 代理公司： | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人： | 王亚军 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 再生 蚀刻 pecvd 设备 衬里 方法 | ||
【权利要求书】：
1.再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法，该方法包括以下连续步骤：
（a）用软质擦拭物对所述衬里的表面进行湿式研磨；软质擦拭物为目数不小于1000#的羊绒布或海绵砂；湿式研磨采用手持式高速气动研磨机进行，其空载转速为8000-13000转/分钟和/或工作压力为7-8kg；湿式研磨使用去离子水或超纯水进行；
（b）在40-60℃下，用中性脱脂剂清洗所述衬里的表面，清洗进行3-5分钟；
（c）在40-60℃下，用浓度为0.05重量%-5重量%的柠檬酸溶液清洗所述衬里的表面，清洗进行20-40分钟；和
（d）干燥所述衬里的表面，在40-60℃下进行5-15分钟。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述手持式高速气动研磨机的空载转速为12000转/分钟和/或工作压力为7.5kg。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述步骤（a）进行3-8分钟。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中所述步骤（b）在50-55℃下进行。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中所述步骤（c）在50-55℃下进行。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中所述步骤（c）用浓度为0.1重量%-3重量%的柠檬酸溶液进行。
7.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中所述步骤（c）用浓度为1.5重量%-2.5重量%的柠檬酸溶液进行。
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