[发明专利]一种全自动晶圆贴蜡机

权利要求书

1.一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：包括晶圆供应单元、机械手、晶圆清洗单元、对中单元、滴蜡单元、烘烤单元、双臂晶圆移栽单元、晶圆翻转单元、晶圆压紧单元、陶瓷盘加热单元、周转单元、冷却单元及载具，所述机械手包括机械手一和机械手二，所述对中单元包括对中单元一和对中单元二，所述双臂晶圆移栽单元包括双臂晶圆移栽单元一和双臂晶圆移栽单元二，所述陶瓷盘加热单元包括陶瓷盘低温加热单元、陶瓷盘预热单元二和陶瓷盘预热单元一，所述冷却单元包括冷却单元一、冷却单元二、冷却单元三和冷却单元四；晶圆依次经过晶圆供应单元、机械手一、晶圆清洗单元、机械手二、对中单元一、双臂晶圆移栽单元一、滴蜡单元、烘烤单元、双臂晶圆移栽单元二、对中单元二、晶圆翻转单元，然后与陶瓷盘通过晶圆压紧单元、周转单元、冷却单元一、冷却单元二、冷却单元三、冷却单元四完成组装；所述滴蜡单元包括桶体、移动气缸一、移动气缸二、滴蜡泵固定支架、滴蜡泵、旋转电机二、升降气缸二、支撑板六、支撑板七和连接座，所述移动气缸二固定在移动气缸一上，滴蜡泵固定支架固定在移动气缸二上，滴蜡泵安装在滴蜡泵固定支架上，滴蜡泵的一端延伸至桶体中，所述滴蜡单元的旋转电机二设置在桶体的底部，所述滴蜡单元的旋转电机二上安装有真空吸盘三，所述支撑板六设置在支撑板七的下端，所述滴蜡单元的旋转电机二的外侧设有连接座，支撑板六与连接座固定连接，升降气缸二通过支撑板七推动滴蜡单元的所述旋转电机二上下移动；所述晶圆翻转单元包括支架三、丝杆传动机构二、升降气缸五、翻转电机和固定杆，所述丝杆传动机构二固定在支架三上，升降气缸五与丝杆传动机构二连接，翻转电机固定在升降气缸五的下端，固定杆固定在翻转电机上，所述固定杆上安装有真空吸盘五；所述晶圆压紧单元包括升降气缸四和支架四，升降气缸四固定在支架四上，升降气缸四的底部固定有压盘，所述压盘上安装有皮鼓。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：所述晶圆供应单元包括固定板、护板、下支架、上支架、升降气缸一、晶圆放置架，护板安装在固定板上，所述升降气缸一固定在固定板的下端，升降气缸一的上端与下支架连接，所述上支架设置在下支架的上端，所述晶圆放置架为多个，晶圆放置架安装在下支架、上支架中，所述下支架和上支架的底部都安装有定位块一，所述晶圆放置架的内部设有多个隔层，晶圆放置在隔层中。

3.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：所述晶圆清洗单元包括刷臂、刷头、清洗台、支撑板一、刷臂旋转电机、支撑板二、刷臂升降气缸、晶圆清洗电机、导杆一和支撑板三，所述刷头安装在刷臂上，刷臂的下端与刷臂旋转电机连接，所述刷臂固定在支撑板三上，支撑板一设置在支撑板三的下端，导杆一由支撑板一中间穿过，所述刷臂旋转电机、刷臂升降气缸安装在支撑板一上，刷臂升降气缸推动支撑板一沿导杆一上下移动，所述支撑板二设置在刷臂升降气缸与支撑板一之间，所述晶圆清洗电机的上端设有真空吸盘一。

4.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：所述对中单元一、对中单元二都包括定位板、滑块一、滑块二和支架一，定位板固定在滑块一上，所述滑块一、滑块二都为两个，所述滑块一、滑块二上都设有导杆二，所述支架一的上端设有齿轮固定座，齿轮固定座上安装有传动齿轮，所述滑块一上安装有齿条一，滑块二上安装有齿条二，传动齿轮设置在齿条一与齿条二之间，所述滑块一的下端挡块，挡块的一侧设有推块，所述推块的下端连接有传动电机一；所述对中单元二还包括有吸盘固定柱、支架二、对射传感器、固定柱、顶升气缸一、支撑板四、支撑板五和传动电机二，吸盘固定柱的上端安装有真空吸盘二，吸盘固定柱的底部与传动电机二连接，传动电机二带动真空吸盘二旋转，所述传动电机二安装在支撑板四上，顶升气缸一带动支撑板四沿固定柱上下移动，所述支架二设置在吸盘固定柱的一侧，对射传感器安装在支架二上。

5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：所述烘烤单元包括加热模组、拉杆和保温罩，所述保温罩的一侧设有烘烤入口，所述加热模组的正下方设有开口槽，所述开口槽的底部设有气缸组件三，气缸组件三上安装有升降气缸三，所述升降气缸三上安装有真空吸盘四。