[发明专利]一种基于光电探测器的浊度测试系统的构建方法

说明书

本发明公开了一种基于光电探测器的浊度测试系统的构建方法，属于浊度测试技术领域，目的在于提供一种基于光电探测器的浊度测试系统的构建方法，解决现有浊度测试系统检测不便、检测时间地点受控制的问题。其包括MoSe₂‑O₂光电探测器、照明源、激光驱动器、探测器驱动器、低噪声放大器，所述低噪声放大器和探测器驱动器均与MoSe₂‑O₂光电探测器电信号连接，所述激光驱动器与照明源电信号连接。本发明适用于光电探测器浊度测试系统。

技术领域

本发明属于浊度测试技术领域，具体涉及一种基于光电探测器的浊度测试系统的构建方法。

背景技术

天然水的浊度是由于水中含有泥沙、粘土、细微的有机物、无机物以及浮游生物等悬浮物所造成。而饮用水的浊度多是由水源水中悬浮颗粒物未经适当滤除或者是配水系统中沉积物重新悬浮起来而造成的。浊度为感官性指标，浊度过高会引起用户对自来水的不信任感。另外，浊度过高容易促进细菌的生长繁殖，并影响消毒效果，从而对饮用水安全造成威胁。因此对浊度的测量在日常生活中发挥着越来越重要的作用。常用的浊度检测方法有90°散射法与目视比浊法。其中90°散射法人为误差更小，检测更精确，被广泛地应用在水体浊度的检测当中。在相同条件下用福尔马肼标准混悬液散射光的强度和水样散射光的强度进行比较。散射光的强度越大，表示浑浊度越高。这种检测方法需要对测试样品进行比较，且检测时间和地点需要严格控制。另外对光散射的检测条件又提出更高的要求，需要在封闭的暗室下进行测量。因此需要制备更加方便的系统用于浊度的检测。

发明内容

本发明的目的在于：提供一种基于光电探测器的浊度测试系统的构建方法，解决现有浊度测试系统检测不便、检测时间地点受控制的问题。

本发明采用的技术方案如下：

一种基于光电探测器的浊度测试系统的构建方法，包括以下步骤：

S1、使用透明胶带将机械剥离的MoSe₂薄片转移到衬底上，首先通过光刻对衬底进行图案化处理，然后通过电子束在衬底上沉积金电极，并通过丙酮洗去未图案化电极部分，得到MoSe₂光电器件，光刻时采用反刻胶对衬底进行图案化处理，分别进行4.5秒的前曝和90秒的泛曝，电子束沉积在衬底上金电极厚度为60nm，沉积速率为20nm/h；

S2、将步骤1将所制备的光电器件在氩气气氛中进行退火处理，退火温度300℃，退火时间3个小时，升温速率20℃/min；

S3、再通过反应离子刻蚀机在MoSe₂光电器件的MoSe₂薄片上进行O₂等离子体处理，为了防止在MoSe₂纳米片上过度蚀刻，MoSe₂薄片被处理两次，每次O₂等离子体处理15秒，间隔10秒，最终制得MoSe₂-O₂光电探测器；

S4、再将照明源、激光驱动器、MoSe₂-O₂光电探测器、探测器驱动器和低噪声放大器联合搭建浊度测试系统。

在上述方案中，所述步骤S2中，进行O₂等离子体处理时，控制反应离子刻蚀机的压力为470m Torr，氧气流量为5sccm，功率为20mW。

在上述方案中，所述衬底为二氧化硅-硅衬底(SiO₂/Si)。

在上述方案中，所述步骤S4中，低噪声放大器和探测器驱动器均与MoSe₂-O₂光电探测器电信号连接，所述激光驱动器与照明源电信号连接。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：