[发明专利]适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器

权利要求书

1.适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，包括适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器（1），其特征在于，所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器（1）包括底座（2）和MEMS压力传感器芯片（3），所述MEMS压力传感器芯片（3）封装在柱塞接头（4）处，所述MEMS压力传感器芯片（3）与连接密封板采用灌封胶形成密封隔板（6），所述MEMS压力传感器芯片（3）焊接在传感器基板（7）上，所述传感器基板（7）通过4根电路板连接软导线（8）连接有信号采集电路板（10），所述信号采集电路板（10）通过4根电路板连接软导线（8）连接有信号调理电路板（11），所述信号调理电路板（11）通过4根电路板连接软导线（8）连接有电源处理电路板（12），所述信号采集电路板（10）、信号调理电路板（11）和电源处理电路板（12）的外部套设有外壳（13），所述外壳（13）的外部设置有密封隔离电连接器（14）。

2.根据权利要求1所述的适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，其特征在于，所述柱塞接头（4）与底座（2）之间由传感器基板（7）安装螺钉（5）可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，其特征在于，所述信号采集电路板（10）通过4个双头螺纹无磁螺钉（9）与基座紧固连接，所述信号采集电路板（10）上焊接有模拟电路元器件，所述信号调理电路板（11）通过4个双头螺纹无磁螺钉（9）与信号采集电路板（10）紧固连接，所述信号采集电路板（10）两侧的8个双头螺纹无磁螺钉（9）紧固固定，所述信号采集电路板（10）上焊接有模拟电路元器件，所述信号调理电路板（11）通过4个双头螺纹无磁螺钉（9）与电源处理电路板（12）紧固连接，所述信号调理电路板（11）两侧的8个双头螺纹无磁螺钉（9）紧固固定，所述信号调理电路板（11）上焊接有模拟电路元器件，所述信号调理电路板（11）通过4个双头螺纹无磁螺钉（9）与电源处理电路板（12）紧固连接，所述电源处理电路板（12）两侧的螺钉和双头螺纹无磁螺钉（9）将之紧固固定，所述电源处理电路板（12）上焊接有元器件。

4.根据权利要求1所述的适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，其特征在于，所述电源处理电路板（12）通过4个电路板连接软导线（8）与密封隔离电连接器（14）连接电信号，所述密封隔离电连接器（14）通过4个电连接器安装螺钉（15）与外壳（13）紧固连接。

5.根据权利要求1所述的适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，其特征在于，所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器（1）的外部一侧设置有供电电源（16），所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器（1）通过供电线缆（17）与供电电源（16）电连接，所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器（1）的外部另一侧设置有测量仪表（19），所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器（1）通过测量线缆（18）与测量仪表（19）电连接。

6.根据权利要求1所述的适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，其特征在于，所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器（1）位于被测试位置（20），所述被测试位置（20）两侧均设置有与分别与供电电源（16）和测量仪表（19）配合的穿舱密封电连接器（21）。