[发明专利]适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器

说明书

本发明公开了适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，包括适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器，所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器包括底座和MEMS压力传感器芯片，所述MEMS压力传感器芯片封装在柱塞接头处，所述MEMS压力传感器芯片与连接密封板采用灌封胶形成密封隔板，所述MEMS压力传感器芯片焊接在传感器基板上。本发明中，本申请的目的在于克服地面环境模拟试验中航天器表面、内部真空度测量的工作时间短、容易受污染、测量复杂等问题，提供一种可在宇宙空间环境和航天器热真空试验等空间环境模拟试验中应用的真空传感器，提高航天器表面真空度测量的工作时长、简化真空度测量防护装置。

技术领域

本发明涉及宇宙空间环境真空度测量技术领域，尤其涉及适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器。

背景技术

随着人类探索宇宙的脚步不断加快，各种探测需求的航天器应运而生，随之产生了航天器表面、内部真空度测量的需求。对应的，在地面进行航天器环境模拟及相关效应的研究和试验中，也出了航天器表面、内部真空度测量的需求。空间轨道环境影响真空度测量的主要环境有真空环境、高低温环境、振动、加速度、空间辐照等空间环境。

当前地面环境模拟试验中，采用市场常用分离型电离型真空规传感器，真空感应元件与电信号元件分离，实施复杂，容易受到污染，测量使用寿命短；

采用一体式复合真空规，需要进行温度控制、压力控制，以抑制温度漂移、真空环境下元器件失效等问题。

在空间轨道运行时，暂时没有有效手段测量航天器表面和内部真空度。

在地面模拟空间环境中，航天器表面真空度的测量是评价试验结果和航天器地面模拟试验监测的重要数据。

在空间轨道环境运行时，航天器表面和内部特定区域的真空度测量是监测航天器运行状态、功能实现的一个技术手段。

因此，有必要寻求一种能在空间轨道环境、地面模拟环境中可以正常工作并能提供测量真空度的适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器。

发明内容

本发明的目的在于：为了解决上述问题，而提出的适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，包括适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器，所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器包括底座和MEMS压力传感器芯片，所述MEMS压力传感器芯片封装在柱塞接头处，所述MEMS压力传感器芯片与连接密封板采用灌封胶形成密封隔板，所述MEMS压力传感器芯片焊接在传感器基板上，所述传感器基板通过4根电路板连接软导线连接有信号采集电路板，所述信号采集电路板通过4根电路板连接软导线连接有信号调理电路板，所述信号调理电路板通过4根电路板连接软导线连接有电源处理电路板，所述信号采集电路板、信号调理电路板和电源处理电路板的外部套设有外壳，所述所述外壳的外部设置有密封隔离电连接器。

优选地，所述柱塞接头与底座之间由传感器基板安装螺钉可拆卸连接。

优选地，所述信号采集电路板通过4个双头螺纹无磁螺钉与基座紧固连接，所述信号采集电路板上焊接有模拟电路元器件，所述信号调理电路板通过4个双头螺纹无磁螺钉与信号采集电路板紧固连接，所述信号采集电路板两侧的8个双头螺纹无磁螺钉紧固固定，所述信号采集电路板上焊接有模拟电路元器件，所述信号调理电路板通过4个双头螺纹无磁螺钉与电源处理电路板紧固连接，所述信号调理电路板两侧的8个双头螺纹无磁螺钉紧固固定，所述信号调理电路板上焊接有模拟电路元器件，所述信号调理电路板通过4个双头螺纹无磁螺钉与电源处理电路板紧固连接，所述电源处理电路板两侧的螺钉和双头螺纹无磁螺钉将之紧固固定，所述电源处理电路板上焊接有元器件。