[发明专利]一种晶元拾放装置

说明书

本发明提供了一种晶元拾放装置，涉及半导体装片机技术领域技术领域，晶元拾放装置包括晶元拾取机构、晶元拾取传递机构、晶元固晶取放机构以及光学微调机构，晶元固晶取放机构包括旋转组件和若干个拾取头，拾取头设于旋转组件的周向，且与旋转组件驱动连接，晶元拾取传递机构设于晶元拾取机构和拾取头之间；晶元在拾取头取放或者转运时利用光学微调机构对其位置进行校准。本发明既通过旋转组件实现了高速度旋转，又在转运过程中进行了光学校正，以及晶元放置前的光学微调，从而保证晶元拾放的过程中高速运动的同时实现了高精度，克服了现有技术中的半导体装片机设备中精度与速度只能取其一的不足之处，兼顾了高速度与高精度。

技术领域

本发明涉及半导体装片机技术领域，尤其是涉及一种晶元拾放装置。

背景技术

在半导体工艺中，晶元通常需要依次传输至半导体工艺设备的多个装置中，并分别在不同装置中完成不同的工序，其传输过程通常由机械手拾放晶元实现。晶元拾放装置作为半导体装片机的核心部分。

现有技术的其中一种晶元拾放装置，如图1所示，其走精度路线，以直线运动为基础，晶元从位置A通过拾放装置拾取后放置在晶元位置B，拾放装置的X轴和Y轴反复运动，这种晶元拾放装置精度能够保证，但是速度存在瓶颈。

现有技术的另外一种晶元拾放装置，如图2所示，其走速度路线，晶元从位置A通过摆臂机构拾取后放置在晶元位置B，摆臂绕转轴反复摆动，实现从晶元位置A到晶元位置B进行搬运的连续运动，速度高且稳定，这种晶元拾放装置速度能够保证，但是精度存在瓶颈。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种晶元拾放装置，以解决现有技术中采用的晶元拾放装置将晶元从位置A搬运至位置B时，速度和精度不能同时满足的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种晶元拾放装置，包括晶元拾取机构、晶元拾取传递机构、晶元固晶取放机构以及光学微调机构，所述晶元固晶取放机构包括旋转组件和若干个拾取头，所述拾取头设于所述旋转组件的周向，且与所述旋转组件驱动连接，所述晶元拾取传递机构设于所述晶元拾取机构和所述拾取头之间，用于将所述晶元拾取机构拾取的晶元传递给所述拾取头；

所述晶元在所述拾取头取放或者转运时利用所述光学微调机构对其位置进行校准。

根据一种可选实施方式，所述晶元拾取机构从晶元放置二维平台拾取晶元后，旋转90度，将所述晶元传递给所述晶元拾取传递机构。

根据一种可选实施方式，所述晶元拾取传递机构旋转180度从所述晶元拾取机构传递所述晶元至所述拾取头。

根据一种可选实施方式，所述旋转组件包括动力源和驱动臂，所述动力源位于所述驱动臂的中心，且带动所述驱动臂360度旋转，所述拾取头设于所述驱动臂的端部，所述驱动臂的数量与所述拾取头的数量一致。

根据一种可选实施方式，所述动力源、所述驱动臂以及所述拾取头从上到下依次设置。

根据一种可选实施方式，所述光学微调机构包括微调相机，所述微调相机正对所述拾取头之一设置，用于获取所述晶元的照片且校准所述晶元的拾取角度。

根据一种可选实施方式，所述微调相机电连接拾取头控制器，所述拾取头控制器与所述拾取头控制连接，所述微调相机将获得的所述晶元的照片信号传递给所述拾取头控制器，所述拾取头控制器通过软件算法控制所述拾取头的拾取角度做晶圆转动调整。

根据一种可选实施方式，所述光学微调机构还包括校准相机，所述校准相机正对晶元固晶平台，用于调整所述晶元在所述晶元固晶平台的位置。

根据一种可选实施方式，所述晶元固晶平台设为二维XY轴平台，所述校准相机电连接平台控制器，所述平台控制器与所述二维 XY轴平台电连接，所述校准相机将获得的所述二维XY轴平台的所述晶元的位置信号传递给所述平台控制器，所述平台控制器调整在所述二维XY轴平台的所述晶元位置。