[发明专利]一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置

权利要求书

1.一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，包括真空溅射室、一端与真空溅射室连接的且沿其长方向设置有传输机构的输送通道、与输送通道另外一端连接的真空后处理室、安装在真空溅射室内的输送机构一、安装在真空后处理室内的输送机构二。

2.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述输送机构一和输送机构二结构相同，包括置物输送带、与置物输送带连接且用于控制置物输送带靠近或远离传输机构的输送装置。

3.根据权利要求2所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述输送装置包括沿输送通道长方向设置且安装在真空后处理室或真空后处理室内的导轨、与导轨滑动配合且用于安装置物输送带的输送组件。

4.根据权利要求3所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述输送组件包括与导轨滑动配合且用于安装置物输送带的支撑架、与支撑架传动连接的横移组件。

5.根据权利要求2所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述置物输送带的顶面与传输机构的顶面在同一平面上。

6.根据权利要求5所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述置物输送带与传输机构的结构相同，均为传送带。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，还包括与传输机构、输送机构一、输送机构二传动连接的置物台。

8.根据权利要求7所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述真空溅射室、输送通道、真空后处理室之间密封连接。

9.根据权利要求7所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述真空溅射室靠近输送通道的一侧设置有仓口一，所述真空溅射室内与仓口一对应设置的仓门一；

所述真空后处理室靠近输送通道的一侧设置有仓口二，所述真空后处理室内与仓口二对应设置的仓门二。

10.根据权利要求8所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述真空溅射室和真空后处理室的结构相同，包括箱体和安装在箱体顶部的箱盖；所述箱盖与箱体密封连接。