[发明专利]一种芯片自动移盘装置及其移盘方法

权利要求书

1.一种芯片自动移盘装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的前部固装有工控机主体(2)，所述工作台(1)的一侧活动安装有操作系统(16)，所述工作台(1)的上部后方固装有X轴主体(3)，所述X轴主体(3)的前部两侧分别设有可沿X轴方向独立活动的Z1轴组件(4)和Z2轴组件(5)，所述工作台(1)的上部一侧固装有Y1轴驱动组件(8)，所述Y1轴驱动组件(8)的上部设置有可由Y1轴驱动组件(8)驱动沿Y轴方向活动的一号载盘托架(7)，所述工作台(1)的上部另一侧固装有Y2轴驱动组件(10)，所述Y2轴驱动组件(10)的上部设置有可由Y2轴驱动组件(10)驱动沿Y轴方向活动的二号载盘托架(9)，所述工作台(1)的上部固装有一号下CCD定位系统(6)，所述工作台(1)的上部固装有二号下CCD定位系统(11)，所述Z1轴组件(4)包括Z1轴CCD定位系统(43)，所述Z2轴组件(5)包括Z2轴CCD定位系统(53)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片自动移盘装置，其特征在于，所述一号下CCD定位系统(6)位于一号载盘托架(7)的一侧，所述二号下CCD定位系统(11)位于二号载盘托架(9)的一侧；

所述Z1轴组件(4)还包括安装于X轴主体(3)前部一侧的一号机体(41)、设置于一号机体(41)下部一侧的Z1轴吸头(42)，所述Z1轴CCD定位系统(43)设置于一号机体(41)下部另一侧，所述Z1轴吸头(42)的上端设有控制Z1轴吸头(42)旋转的一号旋转驱动件(44)；

所述Z2轴组件(5)还包括安装于X轴主体(3)前部另一侧的二号机体(51)、设置于二号机体(51)下部一侧的Z2轴吸头(52)，所述Z2轴CCD定位系统(53)设置于二号机体(51)下部另一侧，所述Z2轴吸头(52)的上端设有控制Z2轴吸头(52)旋转的二号旋转驱动件(54)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片自动移盘装置，其特征在于，所述Y1轴驱动组件(8)和Y2轴驱动组件(10)并排设于工作台(1)上，所述一号下CCD定位系统(6)设于Y1轴驱动组件(8)和Y2轴驱动组件(10)之间，所述二号下CCD定位系统(11)设于Y2轴驱动组件(10)远离Y1轴驱动组件(8)的一侧，并且所述Z1轴组件(4)、Z2轴组件(5)、一号下CCD定位系统(6)和二号下CCD定位系统(11)位于同一平面。

4.根据权利要求1所述的一种芯片自动移盘装置，其特征在于，所述工作台(1)的下方四侧均固接有螺套(12)，所述螺套(12)内螺纹连接有螺杆(13)，所述螺杆(13)的底端固接有支撑盘(14)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片自动移盘装置，其特征在于，所述X轴主体(3)包括两条沿X轴方向延伸的X轴滑轨(31)，两条X轴滑轨(31)上下设置，所述Z1轴组件(4)和Z2轴组件(5)均与两条X轴滑轨(31)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片自动移盘装置，其特征在于，所述Y1轴驱动组件(8)和Y2轴驱动组件(10)均包括有Y轴丝杆、驱动Y轴丝杆转动的Y轴驱动电机以及两条平行设置的Y轴滑轨，所述一号载盘托架(7)和二号载盘托架(9)分别与对应的Y轴滑轨滑动连接，并可由对应的Y轴丝杆驱动沿Y轴方向移动。

7.根据权利要求1所述的一种芯片自动移盘装置，其特征在于，所述一号载盘托架(7)和二号载盘托架(9)的周侧均设有用于固定载盘的夹持组件。

8.根据权利要求7所述的一种芯片自动移盘装置，其特征在于，所述夹持组件包括夹持气缸和由夹持气缸驱动上下活动的L形夹板，所述夹持气缸向外倾斜设置。