[发明专利]一种超低吸收的CO2

说明书

本发明公开了一种CO₂波段超低吸收双面增透膜及其制备方法，CO₂激光波段超低吸收双面增透膜，其结构为：Air/qHpL/Sub/pLqH/Air；其中，Sub代表基底；H代表高折射率膜料ZnSe膜层；L代表低折射率膜层，L为两种低折射率膜料L₁膜层和L₂膜层的混合膜层，两种低折射率膜料L₁膜层和L₂膜层的折射率均为1～1.6，低折射率膜料L₁膜层和低折射率膜料L₂膜层所用材料不同，低折射率膜料L₁膜层：低折射率膜料L₂膜层的光学厚度比例控制在1：3～1：6。本发明在硒化锌基片两侧表面镀制膜系，并通过结合两种低折射率膜料混镀，实现10600nm增透，减少了吸收，提高了透过率，平均透过率大于99.7％，单面反射小于0.1％，吸收由原先的0.3％降低到0.1％以内，抗激光损伤阈值经检测由原先的6000W/CM²提升到10000W/CM²。

技术领域

本发明涉及一种超低吸收的CO₂激光双面增透膜及其制备方法，属于减反膜领域。

背景技术

随着光电子技术，尤其是激光技术、光纤通讯等高科技产品的发展，光学薄膜涂层在基础光学、激光技术、光谱学等领域得到越来越广泛的应用。例如，高功率激光中，低吸收、高损伤阈值的薄膜元件是获得优质激光束的关键元件。正因为如此，薄膜技术也在飞速发展。

在光学元件中，CO₂减反膜的优点是制备工艺较简单，难点是膜层吸收大，透过率低，透过率很难提升至99.7％以上，且膜层抗激光损伤阈值较难提升。本发明开发了一种CO₂激光波段超低吸收双面增透膜，降低了减反膜膜层的吸收，将两种膜料控制比例进行混镀，达到提升透过率和抗激光损伤阈值的目的。

发明内容

本发明提供一种CO₂激光波段超低吸收双面增透膜及其制备方法，通过膜系设计和工艺改进，在基底两侧表面镀制膜系，实现10600nm增透，平均透过率大于99.7％，单面反射小于0.1％，吸收由原先的0.3％降低到0.1％以内；抗激光损伤阈值由原先的 6000W/CM²提升到10000W/CM²。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案如下：

一种CO₂激光波段超低吸收双面增透膜，其结构为：Air/qHpL/Sub/pLqH/Air；其中，Sub代表基底；H代表高折射率膜料ZnSe膜层，高折射率膜料ZnSe膜层的折射率为 2～3；L代表低折射率膜层，L为两种低折射率膜料L₁膜层和L₂膜层的混合膜层，两种低折射率膜料L₁膜层和L₂膜层的折射率均为1～1.6，低折射率膜料L₁膜层和低折射率膜料 L₂膜层所用材料不同，低折射率膜料L₁膜层：低折射率膜料L₂膜层的光学厚度比例控制在1：3～1：6；p、q分别代表各膜层的光学厚度系数。

p、q数值大小和参考波长λ有关，且0≤p≤100，0≤q≤200。Air为空气侧。