[发明专利]一种高速运动平台快速主动减振方法

说明书

本申请公开了一种高速运动平台快速主动减振方法，包括：获取运动平台的运动体当次运动的运动参数，并根据运动参数来确定减振装置的减振模式；基于减振模式控制减振装置的动作端与运动平台的运动体接触或与驱动运动体运动的驱动装置接触，以产生用于抑制运动体振动的接触摩擦力。采用这种主动摩擦的手段来实现减振，可以对运动体特定需要减振的阶段进行减振，而且减振前减振装置的动作端不用接触运动体或不用接触驱动装置，从而不会对运动体的运动形成干扰。再者，将运动体的运动参数与减振装置的控制进行关联，通过调节接触摩擦力大小，即可实现对运动体的惯性振动进行快速抑制。该设计的主动减振方法能够实现灵活且良好的振动抑制效果。

技术领域

本申请涉及机械装置技术领域，尤其涉及一种高速运动平台快速主动减振方法。

背景技术

高速运动平台装置是微电子制造中的核心装置之一，由于高速运动平台装置中的运动平台在其定位过程通常伴随有惯性振动，因此，如何实现对惯性振动的快速抑制是提升操作效率与微电子制造发展的关键问题。

目前，面对高速运动平台装置的振动问题，常采用控制方法或添加减振结构进行减振。控制方法对于高速运动条件下的平台减振问题仍具有调参复杂、适应性差的问题。而添加减振结构的方式通常为被动减振方式，其对高速运动平台装置的振动抑制效果并不理想。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的是提供一种高速运动平台快速主动减振方法，具有灵活且良好的振动抑制效果。

为达到上述技术目的，本申请提供了一种高速运动平台快速主动减振方法，包括步骤：

S1，获取运动平台的运动体当次运动的运动参数，并根据所述运动参数来确定减振装置的减振模式；

S2，基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端与运动平台的运动体接触或与驱动运动体运动的驱动装置接触，以产生用于抑制所述运动体振动的接触摩擦力；

其中，所述减振装置设置于所述运动体外，且所述减振装置的动作端可伸缩控制，该动作端在所述运动体处于运动状态时不与所述运动体或不与所述驱动装置接触。

进一步地，所述S2具体为：

基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端与所述运动体接触，以产生用于抑制所述运动体振动的接触摩擦力；

其中，所述减振装置的动作端的动作方向与所述运动体的运动方向正交。

进一步地，所述S2具体包括：

S21，控制位置检测装置获取运动体的位移信息；

S22，当根据所述位移信息判断到所述运动体移动至距离目标位置预设距离的准备位置时，基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端动作，以使得所述运动体移动至目标位置的同时所述减振装置的动作端与所述运动体或与所述驱动装置接触；

S23，控制所述减振装置的动作端与所述运动体或所述驱动装置接触直至所述运动体的惯性振动幅值小于预设幅值，其中，所述惯性震动幅值为根据位置检测装置的检测数据进行确定。

进一步地，所述位置检测装置为绝对式光栅尺。

进一步地，所述减振装置包括伸缩驱动装置；

所述驱动装置的伸缩部一端可与所述运动体接触或与所述驱动装置接触。

进一步地，所述减振装置还包括缓冲结构；

所述缓冲结构安装于所述伸缩驱动装置的伸缩端，用于与所述运动体或与所述驱动装置接触。

进一步地，所述伸缩驱动装置为直线电机装置、压电陶瓷装置、磁致伸缩装置、电动推杆装置、液压推杆装置或其它直线伸缩装置。