[发明专利]一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法

权利要求书

1.一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于：包括加装平板（1）、安装感应器（5）、调节涂液组件（7）、感应器（5）报警和硅片（6）刻蚀，且涂液组件（7）包括有开设于平板（1）顶部的多个滑槽（701），所述滑槽（701）的内部设置有滑块（703），所述滑块（703）的顶部固定有涂液海绵（705），所述滑槽（701）的内部下方开设有多个螺栓孔（702），所述滑块（703）的顶部安装有延伸至一个螺栓孔（702）内部的固定螺栓（704），具体实施步骤如下：

步骤一：加装平板（1）

在滚轮带液刻蚀设备的滚轮（2）下加装一个平板（1），同时使滚轮（2）的外表面和背部均与限位组件（8）相接触；

步骤二：安装感应器（5）

在安装槽（4）内设置感应器（5），且感应器（5）的顶部与滚轮（2）相接触；

步骤三：调节涂液组件（7）

将硅片（6）放置于滚轮（2）上，并通过硅片（6）的尺寸大小调节涂液组件（7）的位置，使涂液组件（7）与硅片（6）的两侧相接触；

步骤四：感应器（5）报警

若滚轮（2）未与平板（1）贴合，则感应器（5）发出报警信号；

步骤五：硅片（6）刻蚀

通过转动滚轮（2），以利用滚轮（2）转动时带起的液来对硅片的背面进行刻蚀，且滚轮（2）转动时会带动硅片（6）移动，而涂液组件（7）可对硅片（6）的两侧进行刻蚀。

2.根据权利要求1所述的一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于：在步骤一中，限位组件（8）包括有开设于平板（1）顶部两侧的多个凹槽（803），多个所述凹槽（803）的内部均安装有弹簧（804），所述弹簧（804）的顶端连接有活动块（802），所述活动块（802）的顶部固定有延伸至凹槽（803）外部的限位柱（801）。

3.根据权利要求2所述的一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于：所述限位柱（801）通过活动块（802）与凹槽（803）滑动连接，所述限位柱（801）与滚轮（2）相接触。

4.根据权利要求1所述的一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于：所述涂液海绵（705）的一侧与硅片（6）相接触，所述涂液海绵（705）通过滑块（703）与滑槽（701）滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于：在步骤三中，每根所述滚轮（2）下感应器（5）的数目与一排同时前进的硅片（6）的数目相同，且感应器（5）的位置为硅片（6）经过对应下方的中间位置。

6.根据权利要求1所述的一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于：所述平板（1）开孔率范围5%-25%，所述平板（1）的内部贯穿有多个通孔（3），且多个所述通孔（3）间的间距相同。

7.根据权利要求1所述的一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于：在步骤一中，所述滚轮（2）的外壁设置有螺纹，所述滚轮（2）的一部分淹没在溶液中。

8.根据权利要求1所述的一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于：在步骤一中，所述滚轮（2）的底部与平板（1）相贴合，所述滚轮（2）与安装槽（4）相互垂直设置。