[发明专利]一种蚀刻线滚轮、蚀刻传送线及蚀刻装置在审
| 申请号： | 202210077933.5 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114411150A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 吴建;钱超;杨柯 | 申请（专利权）人： | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/02 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董成 |
| 地址： | 213311 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 滚轮 传送 装置 | ||
1.一种蚀刻线滚轮，其特征在于，该蚀刻线滚轮(3)包括：
轮轴(30)；以及
若干轮片(31)，所述的若干轮片(31)间隔设置在所述的轮轴(30)上，且相对于所述轮轴(30)的中线对称分布；
并且，从所述轮轴(30)的中线至其两端方向上的各所述轮片(31)的直径依次递减。
2.根据权利要求1所述的蚀刻线滚轮，其特征在于，位于所述轮轴(30)最中间的所述轮片(31)为中心轮片(301)，位于所述轮轴(30)最外端的所述轮片(31)为端部轮片(302)；
中心轮片(301)和与其位于轮轴(30)中线同一侧的端部轮片(302)，两者的轮缘顶点的连线与水平方向的夹角为θ，则θ≤1°。
3.根据权利要求2所述的蚀刻线滚轮，其特征在于，所述的中心轮片(301)和与其位于轮轴(30)中线同一侧的端部轮片(302)，两者的轮缘顶点的连线与水平方向的夹角为θ，则0.5°≤θ≤0.6°。
4.根据权利要求1所述的蚀刻线滚轮，其特征在于，从所述轮轴(30)的中线至其任意一端之间，各所述轮片(31)的轮缘顶点位于同一圆弧线(4)或斜线(5)上。
5.根据权利要求1所述的蚀刻线滚轮，其特征在于，所述轮片(31)的数量为偶数或者奇数。
6.根据权利要求1所述的蚀刻线滚轮，其特征在于，所述轮片(31)的数量为奇数，且等间距分布。
7.根据权利要求1所述的蚀刻线滚轮，其特征在于，所述轮片(31)的数量为偶数，靠近所述轮轴(30)最中间的两所述轮片(31)的间距为S1，其余任意相邻的所述轮片(31)的间距为S2，S1≤S2。
8.根据权利要求1至7任一所述的蚀刻线滚轮，其特征在于，所述的若干轮片(31)中任意相邻两者的间距为58mm～88mm。
9.一种蚀刻传送线，其特征在于，该蚀刻传送线(2)包括权利要求1至8任一中所述的蚀刻线滚轮(3)；
沿输送方向上，若干所述的蚀刻线滚轮(3)水平平行间隔排布。
10.根据权利要求9所述的蚀刻传送线，其特征在于，任意相邻的所述蚀刻线滚轮(3)之间的间距为45mm～55mm。
11.一种蚀刻装置，其特征在于，包括：
权利要求9或10中所述的蚀刻传送线(2)；以及
设置在所述的蚀刻传送线(2)上侧的上侧喷淋装置(6)，和/或设置在所述的蚀刻传送线(2)下侧的下侧喷淋装置(7)。
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