[发明专利]一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置

权利要求书

1.一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置，包括混合箱(1)，其特征在于：所述混合箱(1)底端安装有控制阀(2)，所述控制阀(2)底端连接有制备掺杂箱(3)，所述制备掺杂箱(3)内部设置有水浴机构；

所述水浴机构包括设置在制备掺杂箱(3)内部的环形管(4)，所述环形管(4)外部连接有多个斜形分散管(5)，所述斜形分散管(5)底端连接有外扩环形管(6)，所述外扩环形管(6)内壁连接有多个凹形嵌入管(7)，所述外扩环形管(6)底端安装有多个下流管(8)，所述下流管(8)底端连接有环形汇集管(9)，所述环形汇集管(9)底端连通有多个下流导向管(10)，所述下流导向管(10)底端连接有回流汇集管(11)，所述回流汇集管(11)顶端连接有第一输送管(12)，所述第一输送管(12)一端安装有加热箱(13)；

所述环形管(4)内部安装有第一旋转杆(17)，所述第一旋转杆(17)外部且位于环形管(4)下方位置处设置有多个旋转转杆(18)，所述旋转转杆(18)下方安装有旋转绞龙(19)，所述第一旋转杆(17)底端连接有四个第二旋转杆(20)，所述第二旋转杆(20)内部连接有分散板(21)，所述第一旋转杆(17)顶端安装有驱动电机(47)；

所述加热箱(13)顶端安装有吸入泵机(14)，所述吸入泵机(14)输入端与加热箱(13)之间相连通，所述吸入泵机(14)输出端连接有注入管(15)，所述注入管(15)与环形管(4)顶端相连通，所述加热箱(13)底端安装有电加热板(16)；

多个斜形分散管(5)呈环形等距分布设置，所述凹形嵌入管(7)竖截面形状设置为凹形，所述凹形嵌入管(7)两端分别与外扩环形管(6)内壁和环形汇集管(9)内壁两两之间相连通。

2.根据权利要求1所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置，其特征在于：所述制备掺杂箱(3)外部一侧安装有掺杂机构，所述掺杂机构包括设置在制备掺杂箱(3)外部一侧的分流管(22)，所述分流管(22)一侧设置有第一弧形掺杂管(23)，所述第一弧形掺杂管(23)下方安装有第二弧形掺杂管(24)，所述第二弧形掺杂管(24)下方安装有第三弧形掺杂管(25)，所述第一弧形掺杂管(23)、第二弧形掺杂管(24)、第三弧形掺杂管(25)外壁底端均连通有多个下喷管(26)，所述分流管(22)另一侧连通有汇集注入管(27)，所述汇集注入管(27)一端连接有第二输送管(28)，所述第二输送管(28)顶端安装有第一微型电动控制阀(29)，所述第二输送管(28)外壁一侧连接有第二微型电动控制阀(30)，所述第二微型电动控制阀(30)顶端安装有N形掺杂箱(31)，所述第一微型电动控制阀(29)顶端安装有P形掺杂箱(32)，所述N形掺杂箱(31)顶端安装有第一增压管(33)，所述第一增压管(33)顶端安装有增压风机(34)。

3.根据权利要求2所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置，其特征在于：所述第一弧形掺杂管(23)、第二弧形掺杂管(24)、第三弧形掺杂管(25)从上到下依次等距排列设置，多个所述下喷管(26)呈环形等距排列设置。

4.根据权利要求3所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置，其特征在于：所述第一增压管(33)竖截面形状设置为凹形，所述第一增压管(33)两端分别与N形掺杂箱(31)和P形掺杂箱(32)两两之间相连通，所述N形掺杂箱(31)和P形掺杂箱(32)一侧均连接有转动螺盖(35)。

5.根据权利要求1所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置，其特征在于：所述混合箱(1)内部安装有第一对向混合管(36)，所述第一对向混合管(36)一端连接有下流混合管(37)，所述第一对向混合管(36)和下流混合管(37)外壁下方均嵌入连通有多个对吹管(38)，所述混合箱(1)内安装有第二对向混合管(39)，所述第二对向混合管(39)外壁设置有多个反向吹动管(40)，所述第一对向混合管(36)另一端连接有第一电动控制阀(41)，所述第二对向混合管(39)一端安装有第二电动控制阀(42)，所述第一电动控制阀(41)另一侧设置有第二增压管(43)，所述第二增压管(43)一端安装有混合增压风机(44)。