[发明专利]一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置有效
申请号: | 202210078551.4 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN114377579B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 顾广瑞;吴宝嘉;李慧婷;金健;崔伟哲;管雪;戚庆碧 | 申请(专利权)人: | 延边大学 |
主分类号: | B01F27/90 | 分类号: | B01F27/90;B01F27/92;B01F33/40;B01F35/92;H01L31/18 |
代理公司: | 沈阳一诺君科知识产权代理事务所(普通合伙) 21266 | 代理人: | 王建男 |
地址: | 133000 吉林省延*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cd vi 化合物 复合 薄膜 制备 装置 | ||
本发明公开了一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,具体涉及复合薄膜的制备技术领域,包括混合箱,所述混合箱底端安装有控制阀,所述控制阀底端连接有制备掺杂箱,所述制备掺杂箱内部设置有水浴机构;所述水浴机构包括设置在制备掺杂箱内部的环形管,所述环形管外部连接有多个斜形分散管,所述斜形分散管底端连接有外扩环形管,所述外扩环形管内壁连接有多个凹形嵌入管。本发明采用水浴机构,可以伸入到混合液内部进行循环加热,大幅度提高热量的均匀性,保证充分进行温度循环流动操作,均匀性更好扩散更快,温度导热流动性更好,循环加热效果更好,这样可以保证在掺杂过程中的温度均匀扩散性,制备效果更好。
技术领域
本发明涉及复合薄膜的制备技术领域,更具体地说,本发明涉及一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置。
背景技术
VI族元素及其Cd基三元化合物是优良的光电功能材料,以Cd(NO3)2-4H2O、Na2SeO3和Na2TeO3的混合液为电解液,采用电化学共沉积法在ITO玻璃基底上制备了CdSeTe,薄膜样品,在制备过程中需要采用制备装置进行混合制备操作。
而实际使用时,在制备过程中需要用到水浴加热,这样避免温度过高,而一般通过外部循环加热水,实现外部水浴加热操作,这样的加热方式会存在以下缺点;
在进行制备过程中,水浴加热仅仅只能在外部进行加热操作,这样导致在P型掺杂和N型掺杂过程中,对于水浴温度把握较为严谨,虽然可以控制外部水温,但是在掺杂循环过程中,温度导热流动性较差,导致循环效果较差,影响掺杂制备温度需要,从而均匀性较差,制备效果较差。
发明内容
为了克服现有技术的上述缺陷,本发明的实施例提供一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,本发明采用水浴机构,可以伸入到混合液内部进行循环加热,大幅度提高热量的均匀性,保证充分进行温度循环流动操作,均匀性更好扩散更快,温度导热流动性更好,循环加热效果更好,这样可以保证在掺杂过程中的温度均匀扩散性,制备效果更好,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,包括混合箱,所述混合箱底端安装有控制阀,所述控制阀底端连接有制备掺杂箱,所述制备掺杂箱内部设置有水浴机构;
所述水浴机构包括设置在制备掺杂箱内部的环形管,所述环形管外部连接有多个斜形分散管,所述斜形分散管底端连接有外扩环形管,所述外扩环形管内壁连接有多个凹形嵌入管,所述外扩环形管底端安装有多个下流管,所述下流管底端连接有环形汇集管,所述环形汇集管底端连通有多个下流导向管,所述下流导向管底端连接有回流汇集管,所述回流汇集管顶端连接有第一输送管,所述第一输送管一端安装有加热箱。
在一个优选地实施方式中,所述加热箱顶端安装有吸入泵机,所述吸入泵机输入端与加热箱之间相连通,所述吸入泵机输出端连接有注入管,所述注入管与环形管顶端相连通,所述加热箱底端安装有电加热板,多个斜形分散管呈环形等距分布设置,所述凹形嵌入管竖截面形状设置为凹形,所述凹形嵌入管两端分别与外扩环形管内壁和环形汇集管内壁两两之间相连通。
在一个优选地实施方式中,所述环形管内部安装有第一旋转杆,所述第一旋转杆外部且位于环形管下方位置处设置有多个旋转转杆,所述旋转转杆下方安装有旋转绞龙,所述第一旋转杆底端连接有四个第二旋转杆,所述第二旋转杆内部连接有分散板,所述第一旋转杆顶端安装有驱动电机。
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