[发明专利]一种X射线实时成像检测设备

说明书

本发明公开了一种X射线实时成像检测设备，包括工作台、移载机构、载物台、检测单元、搬运机械手、物料区和计算器单元；移载机构安装于工作台上，载物台与移载机构连接，移载机构适于带动载物台向X轴和Y轴移动；检测单元包括X射线发射装置和平板探测装置，平板探测装置并与计算器单元连接，所述载物台位于X射线发射装置和平板探测装置之间，X射线发射装置用于向被测产品发射X射线，平板探测装置适于采集图像信号。极大地提高不良品缺陷统计的效率，对电感内部结构进行无损检测，透射内部检测效果及检测效率相比传统AOI光学检测更精准和全面。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种X射线实时成像检测设备。

背景技术

目前，半导体行业中的叠层薄膜电感产品生产后需要对电感的电性能进行检测，检测的方法为一是采用人工观察检测，使用显微镜目测判断电感产品内部结构，但该人工检测方式劳动强度大，效率低，容易漏判，人工目测精度低，容易误判；二是采用AOI自动光学检查，但该检测方式只是检测叠层薄膜电感的外观，无法检测叠层薄膜电感内部，且对周围环境要求高。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种X射线实时成像检测设备，其能解决现有叠层电感检测方法劳动强度大，精度和效率低下的问题。

本发明的目的采用如下技术方案实现：

一种X射线实时成像检测设备，包括工作台、移载机构、载物台、检测单元、搬运机械手、物料区和计算器单元；所述移载机构安装于所述工作台上，所述载物台与所述移载机构连接，所述移载机构适于带动载物台向X轴和Y轴移动；

所述检测单元固定于工作台，所述检测单元包括X射线发射装置和平板探测装置，所述平板探测装置并与计算器单元连接，所述载物台位于X射线发射装置和平板探测装置之间，所述X射线发射装置用于向被测产品发射X射线，平板探测装置适于采集图像信号；

所述搬运机械手适于将被测产品在载物台和物料区之间转移。

进一步地，所述移载机构包括X轴滑轨、Y轴滑轨、X轴传动组件和Y轴传动组件；所述载物台包括连接板、基座、碳纤板和压紧机构，所述Y轴滑轨设于所述连接板，所述基座与所述Y轴滑轨滑动连接，所述连接板与X轴滑轨滑动连接，所述X轴传动组件与所述连接板连接，所述Y轴传动组件与所述基座连接，所述碳纤板设于所述基座上；所述压紧机构安装于所述基座，适于压紧所述被测产品；所述工作台底端设有多个限位传感器，所述限位传感器与计算器单元连接，所述连接板上固定有感应条。

进一步地，所述X射线发射装置设于载物台的下方，所述X射线发射装置包括为X射线源和手动滑台，所述X射线源与所述手动滑台滑动连接，所述手动滑台与所述工作台连接，所述X射线源的出光口从下往上朝向所述载物台。

进一步地，所述平板探测装置设于载物台的上方，所述平板探测装置包括平板探测器、升降模组和升降电机，所述升降模组与所述工作台接，所述平板探测器与所述升降模组连接，所述升降模组适于调节所述平板探测器与所述载物台之间的距离。

进一步地，所述搬运机械手包括龙门模组、升降气缸、真空吸盘抓手和抖动气缸，所述龙门模组固定于物料区上方，所述升降气缸与所述龙门模组连接，所述升降气缸的活动端连接真空吸盘抓手，所述真空吸盘抓手安装所述抖动气缸。

进一步地，所述物料区邻近所述工作台，所述搬运机械手设于所述物料区与工作台之间，所述物料区包括上料区、OK品下料区和NG品下料区，所述上料区、OK品下料区和NG品下料区并排设置。

进一步地，所述上料区包括上料升降模组、料盒、导轨和顶升柱，所述料盒的两侧与所述导轨滑动连接，所述上料升降模组与所述顶升柱的一端连接，所述顶升柱的另一端与所述料盒底部连接；所述料盒的边沿均垂直连接有定位挡板，所述定位挡板可相对所述料盒表面滑动，所述料盒的边沿设有调节部件，所述调节部件用于调节定位挡板的位置；所述物料区的平台垂直连接有托举板，所述托举板的顶部设有高度感应器。