[发明专利]一种可垂直型输送的集成电路生产线的光刻均胶机

权利要求书

1.一种可垂直型输送的集成电路生产线的光刻均胶机，包括控制台（1）、台板（2）、给胶机构（3）和控片机构（4），所述控制台（1）上方连接有台板（2）,台板（2）的上方连接有给胶机构（3）和控片机构（4），其特征在于：所述控片机构（4）包括主L型板（5）、中控架（6）、辅控架（7）、半罩体（8）和吸附座（9），所述主L型板（5）固定在台板（2）上，主L型板（5）的一侧连接有中控架（6）,中控架（6）的周围连接有两个对称分布的辅控架（7）,辅控架（7）的底部一侧连接有半罩体（8）,台板（2）上的两个对称分布的半罩体（8）之间设置有吸附座（9）,吸附座（9）贯穿台板（2）的板体，台板（2）的上表面上开设有收集槽（10）,吸附座（9）设置在收集槽（10）中，两个半罩体（8）对扣组成的整体罩在收集槽（10）上，中控架（6）上放置硅片（20），硅片（20）下落至吸附座（9）上，中控架（6）将硅片（20）从吸附座（9）上抬起，所述辅控架（7）包括第一导向杆（11）、L型副板（12）、立柱（13）、垫件（14）、第二导向杆（15）、变压顶体（16）、L型底板（17）、斜座（18）和第一弹簧（19），所述L型副板（12）的一端和中控架（6）连接，L型副板（12）的另一端端部连接有垫件（14）,垫件（14）的一侧设置有立柱（13）,立柱（13）顶部贯穿L型副板（12）上开设的方孔，立柱（13）上端和中控架（6）连接，立柱（13）的底端设置有L型底板（17）,立柱（13）贯穿L型底板（17）上开设的方孔，立柱（13）的底部一侧固定连接有第二导向杆（15）,第二导向杆（15）贯穿L型底板（17）上开设的圆孔，L型底板（17）的下方设置有斜座（18）,斜座（18）的一端顶部固定连接有变压顶体（16）,斜座（18）的另一端接触有第一弹簧（19）,第一弹簧（19）垫在L型底板（17）和斜座（18）之间，第一弹簧（19）的中部贯穿第一导向杆（11）,第一导向杆（11）贯穿L型底板（17）上开设的通孔，L型底板（17）固定在台板（2）上，斜座（18）和半罩体（8）固定连接，所述斜座（18）形状为滑块一侧一体连接横板，滑块的顶部设置有斜面，斜座（18）的横板一端固定在半罩体（8）上，半罩体（8）为半环筒状，且环体截断面为L型面，所述中控架（6）包括立轴（21）、顶控框（22）、第二弹簧（23）、内杆（24）、制动块（25）和L型托杆（26），所述立轴（21）贯穿主L型板（5）上开设的通孔，立轴（21）的底端固定连接有顶控框（22），顶控框（22）的两端均开设有通孔，且通孔中活动套接有内杆（24）,内杆（24）的一端延伸到顶控框（22）外部，且内杆（24）端部固定连接有制动块（25）,制动块（25）上开设方孔，且立柱（13）活动套接在制动块（25）的方孔中，内杆（24）的另一端固定连接有L型托杆（26）,L型托杆（26）和顶控框（22）之间垫有第二弹簧（23）,第二弹簧（23）套在内杆（24）上，L型副板（12）的一端固定在顶控框（22）上，所述垫件（14）包括限位滑块（27）、内导滑柱（28）、第三弹簧（29）和下顶体（30），所述下顶体（30）为U型板状，L型副板（12）下端延伸到下顶体（30）的内腔中，下顶体（30）的内部固定有内导滑柱（28）,内导滑柱（28）一端延伸到L型副板（12）上开设的圆柱槽中，内导滑柱（28）上套有第三弹簧（29）,第三弹簧（29）垫在L型副板（12）和下顶体（30）之间，下顶体（30）上固定有限位滑块（27）,限位滑块（27）部分凸出到L型副板（12）的外壁上开设的滑槽中，所述变压顶体（16）包括制动滑块（31）、伸缩柱（32）、第四弹簧（33）、套筒（34）和板组件（35），所述套筒（34）的一端固定连接有板组件（35）,套筒（34）的另一端内部活动套接有伸缩柱（32）,伸缩柱（32）和板组件（35）之间垫有第四弹簧（33）,第四弹簧（33）设置在套筒（34）中，伸缩柱（32）为圆柱状且柱体的外侧壁上环设有滑槽，伸缩柱（32）的滑槽中设置有制动滑块（31）,制动滑块（31）固定在套筒（34）的内壁上，板组件（35）的底端固定在斜座（18）上，所述板组件（35）包括橡胶盘（36）、细管（37）和L型堵板（38），所述L型堵板（38）为L型板状，L型堵板（38）封堵在套筒（34）的一侧，L型堵板（38）上朝向套筒（34）内腔的侧壁上开设有圆板槽，且圆板槽中设置有橡胶盘（36）,橡胶盘（36）的中部贯穿有细管（37）,细管（37）贯穿L型堵板（38）的板体，细管（37）的周围的L型堵板（38）上环设有若干均匀分布的通孔，且橡胶盘（36）封堵在L型堵板（38）上通孔的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种可垂直型输送的集成电路生产线的光刻均胶机，其特征在于：所述顶控框（22）为门型弯折板状，且顶控框（22）的两端端部之间固定连接有横梁柱（40）,横梁柱（40）贯穿L型托杆（26）上开设的板孔。