[发明专利]成膜装置

说明书

本发明提供一种在一边输送基板和掩模一边进行成膜的串联型的成膜装置中尽可能地抑制被对准了的基板与掩模的位置偏离的技术。本发明使用如下的成膜装置，所述成膜装置配备有：保持并输送基板的基板载置器、具有基板载置器的夹紧部的载置器保持机构、掩模保持机构、进行基板载置器与掩模的相对位置调整的对准机构、在与基板相交的交叉方向上使基板载置器移动的移动机构、成膜机构，在夹紧部夹紧基板载置器且基板载置器的整体与掩模分离开的状态下，对准机构进行相对位置调整，在相对位置调整之后，在基板载置器被夹紧的状态下，移动机构使基板载置器与掩模接触，在基板载置器与掩模接触之后，夹紧部解除对基板载置器的夹紧。

技术领域

本发明涉及成膜装置。

背景技术

配备有有机EL显示器或液晶显示器等平板显示器的显示装置被广泛使用。制造这种平板显示器的成膜装置利用成为成膜对象的基板和设置有规定的图样的掩模进行制造。这时的成膜装置在使掩模的面与基板平行的状态下，在与基板的被成膜面平行的平面内进行基板与掩模的相对位置调整(对准)。并且，在对准完成之后，使基板与掩模的相对距离接近并使两者接触、贴紧。并且，通过经由掩模使成膜材料附着于基板，形成具有所希望的功能的面板。

在专利文献1(日本特开2005-248249号公报)中记载了一种串联型的成膜装置，所述串联型的成膜装置使基板与掩模重合并对准，载置于输送用托盘，沿着该输送用托盘的输送路径配置成膜机构，由此，一边输送基板一边进行成膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-248249号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1记载的串联型的成膜装置中，如上所述，在使对准了的基板与掩模重合的状态下，一边输送一边进行成膜。因此，存在着因输送动作的影响而使得基板与掩模的对准会发生偏离的可能性，需要应对。

本发明是鉴于上述课题做出的，其目的是提供一种在一边输送基板和掩模一边进行成膜的串联型的成膜装置中，抑制对准了的基板与掩模的位置偏离的技术。

解决课题的手段

本发明采用以下的结构。即，

在一边输送基板一边进行成膜的串联型的成膜装置中，其特征在于，配备有：

保持并输送所述基板的基板载置器；

具有夹紧所述基板载置器的夹紧部的载置器保持机构；

保持掩模的掩模保持机构；

在沿着所述基板的被成膜面的平面内，进行对被保持于所述基板载置器的所述基板与所述掩模的相对位置调整的对准机构；

在与所述被成膜面相交的交叉方向上，使被保持于所述载置器保持机构的所述基板载置器相对于所述掩模的相对距离变化的移动机构；以及

经由所述掩模在被保持于所述基板载置器的所述基板上进行成膜的成膜机构，

在所述夹紧部夹紧所述基板载置器，并且，所述基板载置器的整体与所述掩模分离开的状态下，所述对准机构进行所述相对位置调整，

在所述相对位置调整之后，在所述夹紧部夹紧所述基板载置器的状态下，所述移动机构使所述基板载置器与所述掩模接触，

在所述基板载置器与所述掩模接触之后，所述夹紧部解除对所述基板载置器的夹紧。

发明的效果

根据本发明，可以提供一种在一边输送基板和掩模一边进行成膜的串联型的成膜装置中，抑制被对准了的基板与掩模的位置偏离的技术。

附图说明