[发明专利]一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置及方法

权利要求书

1.一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述处理装置包括：旋风分离器（1）；

所述旋风分离器（1）的侧壁开设有进气口（2），顶部开设有出气口（3），底部开设有排灰口（4）；

所述进气口（2）通过第一管道（5）与反应炉（6）的尾气出口连接，所述出气口（3）通过第二管道（7）与真空泵（8）尾气进口连接；

所述旋风分离器（1）的内部横向固定连接有除尘风筒（9），所述除尘风筒（9）位于所述进气口（2）的上方，所述除尘风筒（9）的底部开设有通孔（10），所述除尘风筒（9）的侧壁上开设有若干出风孔（11）；

所述旋风分离器（1）的内部固定连接有初滤网（12），所述初滤网（12）位于所述除尘风筒（9）的正上方；

所述除尘风筒（9）的两端均开设有开口，且所述除尘风筒（9）的一端与所述旋风分离器（1）的内壁固定连接，所述除尘风筒（9）的另一端与所述旋风分离器（1）的内壁留有间隙；

所述除尘风筒（9）与所述旋风分离器（1）的内壁留有间隙的一端活动连接有调风板（13）；

所述旋风分离器（1）的外侧底部固定连接有步进电机（14），所述步进电机（14）旋转轴穿过所述旋风分离器（1）的底部与所述调风板（13）固定连接；

所述旋风分离器（1）的内壁上开设有凹槽（15），所述凹槽（15）与所述除尘风筒（9）的远离所述调风板（13）的一侧位置对应；

所述凹槽（15）内通过转轴活动连接有叶轮（16）；

所述叶轮（16）的叶片上均开设有工作孔（17）；

所述旋风分离器（1）的侧壁内开设有进气孔，所述进气孔与所述凹槽（15）连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述出风孔（11）位于所述除尘风筒（9）的上部。

3.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述进气孔包括：第一竖孔（18）；

所述第一竖孔（18）从所述旋风分离器（1）的侧壁顶部延伸至所述旋风分离器（1）的侧壁底部，所述第一竖孔（18）的顶部设置有开关阀门（31）；

所述第一竖孔（18）的底部连接有第一斜孔（19），所述第一斜孔（19）朝所述旋风分离器（1）的内侧向下倾斜设置，所述第一斜孔（19）的底部连接有向上延伸的第二竖孔（20），所述第二竖孔（20）的顶部位于所述凹槽（15）处，所述第二竖孔（20）的顶部连接有第二斜孔（21），所述第二斜孔（21）朝所述旋风分离器（1）的内侧向上倾斜设置，第二斜孔（21）的顶部与所述凹槽（15）连通，且连通处与所述工作孔（17）位置对应。

4.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述旋风分离器（1）的内侧顶部固定连接有环形滤网（22），所述环形滤网（22）位于所述出气口（3）的正下方。

5.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述旋风分离器（1）的外侧连接有水冷套（23）；

所述第一管道（5）上通过三通管连接有尾气进气阀（24）和维护气进气阀（25），所述反应炉（6）的尾气出口与所述尾气进气阀（24）连接；

所述第二管道（7）上通过三通管连接有尾气出气阀（26）和维护气出气阀（27），所述真空泵（8）的尾气进口与所述尾气出气阀（26）连接；

所述排灰口（4）通过第三管道（28）连接有星形阀（29），所述星形阀（29）上连接有积灰仓（30）。

6.一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理方法，其特征在于，利用权利要求5所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置进行处理，所述方法包括：

反应炉（6）产生的尾气通过进气口（2）进入旋风分离器（1）内；

尾气中的一部分颗粒与所述旋风分离器（1）内壁摩擦失去动能落入所述旋风分离器（1）底部的漏斗中；

尾气在所述旋风分离器（1）底部漏斗处形成旋风向上进入除尘风筒（9）内，一部分尾气中颗粒物被除尘风筒（9）拦截，落入所述旋风分离器（1）底部的漏斗中；

尾气穿过出风孔（11）被初滤网（12）过滤剩余颗粒物，然后通过出气口（3）进入真空泵（8）内；

尾气处理完成后，通过所述进气口（2）通入惰性气体、水蒸气和氧气，惰性气体、水蒸气和氧气结合将活性金属颗粒物反应生成对应的氢氧化物和氧化物；

在进气孔中通入惰性气体，惰性气体与叶轮（16）的工作孔（17）侧壁发生碰撞使得所述叶轮（16）产生旋转力矩进行旋转；

所述叶轮（16）产生的风力吹向所述除尘风筒（9）内，打开调风板（13），加速惰性气体将放出热量带出，剩余热量由水冷套移出，反应至所述旋风分离器（1）内的活性金属颗粒物被氧化完全。