[发明专利]一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺在审

专利信息
申请号: 202210086132.5 申请日: 2022-01-25
公开(公告)号: CN114457343A 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 张庆明 申请(专利权)人: 全洋(黄石)材料科技有限公司
主分类号: C23G1/24 分类号: C23G1/24;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/12
代理公司: 北京精翰专利代理有限公司 11921 代理人: 张丹
地址: 435000 湖北省黄*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 连续 amoled 金属 掩膜板 自动 智能 清洗 工艺
【权利要求书】:

1.一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺,其特征在于,包括以下步骤:

S1、调配药液:

(1)所述药液有以下重量份的材料组成:

正丁醇30-50份、正戊醇10-20份、聚氧乙烯辛基苯酚醚-109-15份、浒苔提取物5-10份、三聚甘油酯5-8份、过氧焦磷酸钠5-10份、三乙醇胺5-10份、二乙二醇单己醚3-8份、十二烷基硫酸钠5-9份以及去离子水80-100份;

(2)所述浒苔提取物时将新鲜的浒苔烘干,对其打碎,通过80-100目筛网对其过滤,加入10-15倍浒苔碎质量份数的乙醇水溶液,将其投入超声波机器内部,通过超声波对乙醇水溶液以及浒苔碎进行萃取4-8小时,得到浒苔乙醇溶液,对浒苔乙醇溶液进行离心和抽滤,离心条件为3000-5000r/min,离心时间为5-10min,并得到其滤液,将滤液置于真空旋转蒸发仪中,45-60℃减压蒸馏回收乙醇,当不再有乙醇蒸出时,留取剩余液体,将上述剩余液体进行分馏,收集温度为87-95℃下的溜出液,得到浒苔提取物;

S2、镀膜处理:采用金属蒸镀膜层或有机金属蒸镀膜对金属掩膜板进行处理,同时对两片金属掩膜板进行浸泡,对药液进行升温,调整药液配方中的比例得到不同属性种类的药液,并将不同种类的药液分别注入金属掩膜板加工机器内部,同步对两片金属蒸镀膜层或两片有机蒸镀膜层或者一片金属蒸镀膜层和一片有机蒸镀膜层进行同步处理,处理完毕后,根据加工的需求分别浸泡,在浸泡过程中通过超声波两片对金属掩膜板进行同步处理,通过多道漂洗工序对金属掩膜板进行漂洗,且在漂洗过程中搭配超声波增加产品清洁度;

S3、烘干处理:漂洗完毕后通过外置设备将金属掩膜板提起,需要注意提起金属掩膜板的过程中需要降低漂洗液以及药液的波动,维持漂洗液以及药液的稳定,且在提起金属掩膜板后将其水平放置在漂洗箱或药液箱上方,匀速倾斜金属掩膜板的角度,并在金属掩膜板烘干完毕后取出金属掩膜板。

2.根据权利要求1所述的一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺,其特征在于:所述S1中乙醇水溶液的纯度为80%-50%。

3.根据权利要求1所述的一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺,其特征在于:所述S2中通过3-5道漂洗工序对金属掩膜板进行漂洗。

4.根据权利要求1所述的一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺,其特征在于:所述S3中药液浸泡的时间维持在10-15min。

5.根据权利要求1所述的一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺,其特征在于:所述S3中金属掩膜板与漂洗液或药液水平处于30°时停止移动。

6.根据权利要求1所述的一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺,其特征在于:所述S2中漂洗时采用的超声波采用三频变频超音波,所述三频变频超音波分别为40KHZ、80KHZ和100KHZ的高效超音波。

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