[发明专利]一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺

说明书

本发明公开了一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺，具体涉及AMOLED金属掩膜板技术领域，本发明通过将不同种类的药液分别注入金属掩膜板加工机器内部，同步对两片金属蒸镀膜层或两片有机蒸镀膜层或者一片金属蒸镀膜层和一片有机蒸镀膜层进行同步处理，该清洗工艺可依照产品的种类进行槽体药液调配，并可随时保持2片连续式生产，大幅减少人力、设备及生产时间，以达到真正量产的目的，且通过多道漂洗，并搭配超声波，可增加产品表面清洁度，同时不同蒸镀膜层可同时进行清洗，不会有交叉污染风险，在金属掩膜板翻转角度为30°时，滴落的药液以及漂洗液难以溅起水花，从而对药液以及漂洗液的使用效率以及工作人员的安全起到了保障的效果。

技术领域

本发明涉及AMOLED金属掩膜板技术领域，更具体地说，本发明涉及一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺。

背景技术

AMOELD制程中，在蒸镀设备使用上不可缺少的重要金属掩膜板，当此金属掩模板表面不干净时，在蒸镀过程中会使得产品良率下降，故金属掩膜板表面洁净度更是为重要，在AMOLED蒸镀制程中，有区分有机材料与金属材料镀膜，此套设备开发设计结合目前AMOLED制程材料特性，进行金属与有机材料可同时在一套设备上进行清洗动作，并清洗过程中会有交叉污染风险，并难以保障人力成本、多套单一设备等成本浪费。

发明内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本发明提供了一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺，本发明所要解决的技术问题是：在AMOLED蒸镀制程中，有区分有机材料与金属材料镀膜，此套设备开发设计结合目前AMOLED制程材料特性，进行金属与有机材料可同时在一套设备上进行清洗动作，并清洗过程中会有交叉污染风险，并难以保障人力成本、多套单一设备等成本浪费的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺，包括以下步骤：

S1、调配药液：

(1)所述药液有以下重量份的材料组成：

正丁醇30-50份、正戊醇10-20份、聚氧乙烯辛基苯酚醚-109-15份、浒苔提取物5-10份、三聚甘油酯5-8份、过氧焦磷酸钠5-10份、三乙醇胺5-10份、二乙二醇单己醚3-8份、十二烷基硫酸钠5-9份以及去离子水80-100份。

(2)所述浒苔提取物时将新鲜的浒苔烘干，对其打碎，通过80-100目筛网对其过滤，加入10-15倍浒苔碎质量份数的乙醇水溶液，将其投入超声波机器内部，通过超声波对乙醇水溶液以及浒苔碎进行萃取4-8小时，得到浒苔乙醇溶液，对浒苔乙醇溶液进行离心和抽滤，离心条件为3000-5000r/min，离心时间为5-10min，并得到其滤液，将滤液置于真空旋转蒸发仪中，45-60℃减压蒸馏回收乙醇，当不再有乙醇蒸出时，留取剩余液体，将上述剩余液体进行分馏，收集温度为87-95℃下的溜出液，得到浒苔提取物。

S2、镀膜处理：采用金属蒸镀膜层或有机金属蒸镀膜对金属掩膜板进行处理，同时对两片金属掩膜板进行浸泡，对药液进行升温，调整药液配方中的比例得到不同属性种类的药液，并将不同种类的药液分别注入金属掩膜板加工机器内部，同步对两片金属蒸镀膜层或两片有机蒸镀膜层或者一片金属蒸镀膜层和一片有机蒸镀膜层进行同步处理，处理完毕后，根据加工的需求分别浸泡，在浸泡过程中通过超声波两片对金属掩膜板进行同步处理，通过多道漂洗工序对金属掩膜板进行漂洗，且在漂洗过程中搭配超声波增加产品清洁度。

S3、烘干处理：漂洗完毕后通过外置设备将金属掩膜板提起，需要注意提起金属掩膜板的过程中需要降低漂洗液以及药液的波动，维持漂洗液以及药液的稳定，且在提起金属掩膜板后将其水平放置在漂洗箱或药液箱上方，匀速倾斜金属掩膜板的角度，并在金属掩膜板烘干完毕后取出金属掩膜板。

作为本发明的进一步方案：所述S1中乙醇水溶液的纯度为80％-50％。