[发明专利]一种胶膜填充方法及装置在审
申请号: | 202210086955.8 | 申请日: | 2022-01-25 |
公开(公告)号: | CN114566435A | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 宋伟;陈永铭 | 申请(专利权)人: | 广州市鸿利显示电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人: | 罗芬梅 |
地址: | 510000 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 胶膜 填充 方法 装置 | ||
1.一种胶膜填充方法,用于填充基板上芯片之间的缝隙,其特征在于:包括以下步骤:
提供胶膜以及待处理基板,所述基板上间隙设置多个芯片,所述芯片间形成缝隙;
在所述胶膜上开设与所述芯片对应的避让孔;将所述胶膜覆盖到所述基板上,使所述芯片与所述避让孔匹配;
加热覆盖到所述基板上的所述胶膜形成溶解胶膜,所述溶解胶膜填充于所述芯片之间的缝隙。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于:
将所述胶膜覆盖到所述基板上还包括以下步骤:
在所述基板上设置基板标记点,在所述胶膜上设置胶膜标记点;
将所述胶膜标记点与所述基板标记点匹配,将所述胶膜定位覆盖到所述基板上。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于:
所述胶膜在所述基板上的高度高于所述芯片在所述基板上的高度。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于:上述在胶膜上开设避让孔包括以下步骤:
对所述芯片在所述基板上的排布位置以及芯片尺寸进行识别;
根据识别的结果,在胶膜上对应的位置开设避让孔。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于:所述胶膜为硅胶或者黑胶。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于:上述对覆盖到基板上的胶膜进行加热溶解形成溶解胶膜,使所述溶解胶膜填充所述芯片之间的缝隙之后,还包括以下步骤:
固化所述溶解胶膜形成固化胶膜;
在固化胶膜以及芯片表面形成透明胶保护层。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于:所述溶解胶膜的厚度小于所述芯片的厚度。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于:
所述加热溶解的温度为35-40摄氏度。
9.一种应用如权利要求1-9中任一项所述方法的装置,其特征在于:所述装置包括:
开孔设备:对胶膜开设避让孔;
贴膜设备:将开设有避让孔的胶膜覆盖到基板上;
热熔设备:对基板上的胶膜进行加热溶解。
10.如权利要求9所述的方法,其特征在于:所述装置还包括:
识别设备:对基板上芯片的排布位置和芯片尺寸进行识别;
标记设备:于在基板上添加基板标记点和在胶膜上添加胶膜标记点。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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