[发明专利]应变体、力传感器装置

权利要求书

1.一种应变体，其特征在于，具有：

应变部，其具备受预定的轴向的力或力矩而变形的可动部、以及受上述力或上述力矩而不变形的非可动部；以及

输入传递部，其与上述非可动部接合，且受上述力或上述力矩而不变形，

上述可动部具备在上述输入传递部侧开口的槽，

上述输入传递部具备能够容纳探测上述力或上述力矩的传感器芯片的容纳部，上述容纳部的一部分位于上述槽的内侧。

2.根据权利要求1所述的应变体，其特征在于，

上述应变部具有：

第一框部；

第一中央部，其与上述第一框部分离地配置于上述第一框部的内侧；以及

多个第一梁结构，其将上述第一框部和上述第一中央部桥接，

上述第一框部包含于上述非可动部，上述第一梁结构及上述第一中央部包含于上述可动部。

3.根据权利要求2所述的应变体，其特征在于，

在各个上述第一梁结构设有在与上述输入传递部相反的侧开口的凹部。

4.根据权利要求2所述的应变体，其特征在于，

各个上述第一梁结构以越靠接近上述第一中央部侧的位置便越接近上述输入传递部的方式倾斜。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的应变体，其特征在于，

各个上述第一梁结构为包括第一梁和从上述第一梁的中央部沿与上述第一梁正交的方向延伸的第二梁的T字型，

上述第一梁的两端与上述第一框部连结，上述第二梁的端部与上述第一中央部连结。

6.根据权利要求2～5中任一项所述的应变体，其特征在于，

俯视下，上述应变部相对于上述第一框部的中心为四次对称。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的应变体，其特征在于，

上述输入传递部具有：

第二框部；以及

第三框部，其与上述第二框部的内周相邻，且比上述第二框部薄，

上述容纳部包括设于上述第三框部的内侧的多个第二梁结构。

8.根据权利要求7所述的应变体，其特征在于，

各个上述第二梁结构具有：

水平支撑部，其从上述第三框部的内侧面沿水平方向延伸；

垂直支撑部，其从上述水平支撑部的内周端向上述应变部侧垂直延伸；以及

传感器连接部，其从上述垂直支撑部的下端向上述第三框部的中心侧沿水平方向延伸，且与上述传感器芯片连接。

9.根据权利要求8所述的应变体，其特征在于，

各个上述传感器连接部的内周端相互分离，

俯视下，将各个上述传感器连接部向上述第三框部的中心侧延伸的假想的延长线在上述第三框部的中心相交。

10.根据权利要求8或9所述的应变体，其特征在于，

俯视下，各个上述水平支撑部及各个上述传感器连接部越靠近上述第三框部的中心侧，宽度便逐渐减小。

11.根据权利要求7～10中任一项所述的应变体，其特征在于，

俯视下，上述输入传递部相对于上述第二框部的中心为四次对称。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的应变体，其特征在于，

上述容纳部具有与上述传感器芯片的力点连接的传感器连接部，

上述传感器连接部位于被输入力矩时上述可动部变形的原点附近。

13.一种力传感器装置，其特征在于，

具有权利要求1～12中任一项所述的应变体和上述传感器芯片。