[发明专利]一种磁式质谱仪的离子源在审
申请号: | 202210097473.2 | 申请日: | 2022-01-27 |
公开(公告)号: | CN114420529A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 张艳 | 申请(专利权)人: | 张艳 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/10;H01J49/26 |
代理公司: | 浙江训铨律师事务所 33367 | 代理人: | 程艳伟 |
地址: | 102600 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 质谱仪 离子源 | ||
1.一种磁式质谱仪的离子源,包括离子源腔体(1)、转盘调节动力组件(2)、透镜组件(3)、离子源盖体(4)、分子泵连接口(5)、液氮冷阱(6)、卡扣(7)、高压电极(8)、观察窗(9)、转盘连接基座(10)、准直器组件(11)、输出透镜组件(12)、聚焦极X组件(13)、分离式聚焦透镜组件(14)、聚焦透镜组件(15)、引出极透镜组件(16)、绝缘连接柱(17)、瓷绝缘柱(18)、连接杆(19)、移动接电块(20)、转盘组件(21)、聚焦透镜X(22)、第一绝缘陶瓷柱(23)、第一接线柱(24)、第一分离式聚焦透镜(25)、第二分离式聚焦透镜(26)、第二接线柱(27)、第一绝缘陶瓷垫(28)、下极片(29)、不锈钢连接柱(30)、上极片(31)、第二陶瓷绝缘柱(32)、聚焦透镜Z1(33)、聚焦透镜Z2(34)、紧固螺栓(35)、引出极透镜(36)、引出极安装座(37)、第二绝缘陶瓷垫(38)、第三连接柱(39)、放气槽(40)、第一准直器狭缝(41)、第二准直器狭缝(42)、转盘主体(43)、主动转动移动台(44)、被动转动移动台(45)、第一轴承(46)、第一轴承压盖(47)、第二轴承(48)、第二轴承压盖(49)、止动环(50)、动力连接座(51)、蒸发器组件(52)、屏蔽盖(53)、蒸发器支架(54)、陶瓷封接面(55)、铼带(56)和可伐合金电极座(57),其特征在于:所述离子源腔体(1)的一侧设置有转盘调节动力组件(2),离子源腔体(1)内侧的一侧设置有透镜组件(3),离子源腔体(1)的一端设置有离子源盖体(4),离子源腔体(1)的一侧设置有分子泵连接口(5),离子源腔体(1)的另一侧设置有液氮冷阱(6),液氮冷阱(6)通过卡扣(7)与离子源腔体(1)连接,液氮冷阱(6)一侧的离子源腔体(1)上设置有高压电极(8),离子源盖体(4)外侧的中部设置有观察窗(9),透镜组件(3)的一侧设置有两个连接杆(19),连接杆(19)上套接有移动接电块(20),连接杆(19)的一侧设置有转盘组件(21);
所述透镜组件(3)包括转盘连接基座(10)、准直器组件(11)、输出透镜组件(12)、聚焦极X组件(13)、分离式聚焦透镜组件(14)、聚焦透镜组件(15)、引出极透镜组件(16)、绝缘连接柱(17)和瓷绝缘柱(18),转盘连接基座(10)的一侧通过绝缘连接柱(17)连接有准直器组件(11),准直器组件(11)的外侧设置有输出透镜组件(12),转盘连接基座(10)与准直器组件(11)之间通过瓷绝缘柱(18)安装有聚焦极X组件(13),聚焦极X组件(13)的中部安装有聚焦透镜组件(15),瓷绝缘柱(18)的一端设置有分离式聚焦透镜组件(14),转盘连接基座(10)的中部设置有引出极透镜组件(16);
所述转盘组件(21)包括转盘主体(43)、主动转动移动台(44)、被动转动移动台(45)、第一轴承(46)、第一轴承压盖(47)、第二轴承(48)、第二轴承压盖(49)、止动环(50)、动力连接座(51)、蒸发器组件(52)和屏蔽盖(53),转盘主体(43)中部的一侧设置有主动转动移动台(44),转盘主体(43)中部的另一侧设置有被动转动移动台(45),被动转动移动台(45)通过第一轴承(46)与转盘主体(43)连接,第一轴承(46)的外侧套接有第一轴承压盖(47),主动转动移动台(44)通过第二轴承(48)与转盘主体(43)连接,第二轴承(48)的外侧设置有第二轴承压盖(49),第二轴承(48)与第二轴承压盖(49)之间设置有止动环(50),转盘主体(43)一侧的中部设置有动力连接座(51),转盘主体(43)的外侧设置有蒸发器组件(52),蒸发器组件(52)的外侧设置有屏蔽盖(53)。
2.根据权利要求1所述的一种磁式质谱仪的离子源,其特征在于,所述聚焦极X组件(13)包括聚焦透镜X(22)、第一绝缘陶瓷柱(23)和第一接线柱(24),聚焦透镜X(22)的边缘处设置有四个第一绝缘陶瓷柱(23),聚焦透镜X(22)中部的一侧设置有第一接线柱(24)。
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