[发明专利]一种磁式质谱仪的离子源在审
申请号: | 202210097473.2 | 申请日: | 2022-01-27 |
公开(公告)号: | CN114420529A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 张艳 | 申请(专利权)人: | 张艳 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/10;H01J49/26 |
代理公司: | 浙江训铨律师事务所 33367 | 代理人: | 程艳伟 |
地址: | 102600 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 质谱仪 离子源 | ||
一种磁式质谱仪的离子源,其包括离子源腔体、转盘调节动力组件、透镜组件、离子源盖体、转盘组件,所述离子源腔体的一侧设置有转盘调节动力组件,离子源腔体内侧的一侧设置有透镜组件,离子源腔体的一端设置有离子源盖体,离子源腔体的一侧设置有分子泵连接口,离子源腔体的另一侧设置有液氮冷阱,液氮冷阱通过卡扣与离子源腔体连接,液氮冷阱一侧的离子源腔体上设置有高压电极,离子源盖体外侧的中部设置有观察窗,透镜组件的一侧设置有两个连接杆,本发明结构新颖,构思巧妙,设置的离子源透镜组件可得到稳定的离子聚焦点,转盘组件可以有效平稳的进行换样,且通离子源腔体造型美观,外观具备一定的科技感。
技术领域
本发明涉及离子源,具体为一种磁式质谱仪的离子源。
背景技术
当原子撞击灼热金属表面时,一部分原子改变运动方向飞离金属表面,另一部分原子则损失电子成为正离子,并且飞离金属表面。根据这种表面电离现象,制成本质谱仪的离子源。
现有的磁式质谱仪的离子源电离效率低,离子能量易分散,样品使用量较大,检测灵敏度低,同时离子源腔体较大,不利于质谱仪的工作。
发明内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本发明提供一种磁式质谱仪的离子源,有效的解决了现有的磁式质谱仪的离子源电离效率低,离子能量易分散,样品使用量较大,检测灵敏度低,同时离子源腔体较大,不利于质谱仪的工作的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:本发明包括离子源腔体、转盘调节动力组件、透镜组件、离子源盖体、分子泵连接口、液氮冷阱、卡扣、高压电极、观察窗、连接杆、移动接电块、转盘组件,所述离子源腔体的一侧设置有转盘调节动力组件,离子源腔体内侧的一侧设置有透镜组件,离子源腔体的一端设置有离子源盖体,离子源腔体的一侧设置有分子泵连接口,离子源腔体的另一侧设置有液氮冷阱,液氮冷阱通过卡扣与离子源腔体连接,液氮冷阱一侧的离子源腔体上设置有高压电极,离子源盖体外侧的中部设置有观察窗,透镜组件的一侧设置有两个连接杆,连接杆上套接有移动接电块,连接杆的一侧设置有转盘组件;
所述透镜组件包括转盘连接基座、准直器组件、输出透镜组件、聚焦极X组件、分离式聚焦透镜组件、聚焦透镜组件、引出极透镜组件、绝缘连接柱和瓷绝缘柱,转盘连接基座的一侧通过绝缘连接柱连接有准直器组件,准直器组件的外侧设置有输出透镜组件,转盘连接基座与准直器组件之间通过瓷绝缘柱安装有聚焦极X组件,聚焦极X组件的中部安装有聚焦透镜组件,瓷绝缘柱的一端设置有分离式聚焦透镜组件,转盘连接基座的中部设置有引出极透镜组件;
所述转盘组件包括转盘主体、主动转动移动台、被动转动移动台、第一轴承、第一轴承压盖、第二轴承、第二轴承压盖、止动环、动力连接座、蒸发器组件和屏蔽盖,转盘主体中部的一侧设置有主动转动移动台,转盘主体中部的另一侧设置有被动转动移动台,被动转动移动台通过第一轴承与转盘主体连接,第一轴承的外侧套接有第一轴承压盖,主动转动移动台通过第二轴承与转盘主体连接,第二轴承的外侧设置有第二轴承压盖,第二轴承与第二轴承压盖之间设置有止动环,转盘主体一侧的中部设置有动力连接座,转盘主体的外侧设置有蒸发器组件,蒸发器组件的外侧设置有屏蔽盖。
根据上述技术方案:所述聚焦极X组件包括聚焦透镜X、第一绝缘陶瓷柱和第一接线柱,聚焦透镜X的边缘处设置有四个第一绝缘陶瓷柱,聚焦透镜X中部的一侧设置有第一接线柱。
根据上述技术方案:所述分离式聚焦透镜组件包括第一分离式聚焦透镜、第二分离式聚焦透镜和第二接线柱,第一分离式聚焦透镜的一侧设置有第二分离式聚焦透镜,第一分离式聚焦透镜和第二分离式聚焦透镜上均设置有第二接线柱,第一分离式聚焦透镜和第二分离式聚焦透镜的边缘处设置有第一绝缘陶瓷垫。
根据上述技术方案:所述聚焦透镜组件包括下极片、不锈钢连接柱、上极片、第二陶瓷绝缘柱、聚焦透镜Z1、聚焦透镜Z2和紧固螺栓,下极片的一侧通过不锈钢连接柱连接有上极片,不锈钢连接柱的一端旋接有紧固螺栓,下极片与上极片之间通过第二陶瓷绝缘柱分别安装有聚焦透镜Z1和聚焦透镜Z2。
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