[发明专利]一种具有冷却功能的抛光装置有效

专利信息
申请号: 202210099458.1 申请日: 2022-01-27
公开(公告)号: CN114473848B 公开(公告)日: 2023-06-20
发明(设计)人: 周博伦;刘福强;李伟;史霄 申请(专利权)人: 北京晶亦精微科技股份有限公司
主分类号: B24B37/10 分类号: B24B37/10;B24B37/12;B24B37/34;B24B55/02;B24B41/04;B24B49/00
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 王月
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 冷却 功能 抛光 装置
【权利要求书】:

1.一种具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,包括:

抛光盘,具有上下贴合连接的第一盘体(1)和第二盘体(2),所述第二盘体(2)上开设有用于传感器(6)穿过的避让孔(5);

旋转轴(3),连接在所述第二盘体(2)上,用于驱动所述抛光盘旋转;

冷却回路(4),呈螺旋状盘布在所述第一盘体(1)与所述第二盘体(2)之间,所述冷却回路(4)中适于流通冷却液,第一盘体(1)与第二盘体(2)之间通过钎焊连接;所述冷却回路(4)的进液口(8)和回液口(9)均连通有软管(10),该软管(10)穿过所述旋转轴(3)的穿轴孔(21)后、适于与冷却液箱连通;其中,所述冷却回路(4)对所述避让孔(5)进行绕包,冷却液先流经绕包在所述避让孔(5)周向的冷却回路(4);所述冷却回路(4)的折回段(11)、冷却回路(4)的外圈段(12)以及冷却回路(4)的进液口(8)与最外圈之间的过渡段对避让孔(5)的周向进行完全绕包;

驱动组件,至少部分设于所述旋转轴(3)上,用于驱动所述旋转轴(3)转动。

2.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述冷却回路(4)的进液口(8)和回液口(9)均设置在所述第二盘体(2)中心部位;冷却液流经所述避让孔(5)的周向后,沿所述冷却回路(4)的外圈逐渐向内圈循环流通。

3.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述冷却回路(4)为开设在所述第二盘体(2)上的凹槽,所述凹槽的开口朝向所述第一盘体(1)。

4.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述第二盘体(2)可拆卸的连接在所述旋转轴(3)上。

5.根据权利要求4所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述旋转轴(3)通过第一连接件(14)与所述第二盘体(2)进行可拆卸连接,所述第一连接件(14)上具有开口朝向所述第二盘体(2)的第一容纳槽(15),所述第一容纳槽(15)用于容纳预留的软管(10)。

6.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述旋转轴(3)的背离所述第二盘体(2)的一端连接有旋转接头(16),穿过所述旋转轴(3)的软管(10)与所述旋转接头(16)连通,所述旋转接头(16)适于与冷却液箱连通。

7.根据权利要求6所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述旋转接头(16)通过第二连接件(17)与所述旋转轴(3)可拆卸连接,所述第二连接件(17)上具有开口朝向所述旋转轴(3)的第二容纳槽(18),所述第二容纳槽(18)用于容纳预留的软管(10)。

8.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述旋转轴(3)上连接有导电滑环(19),与传感器(6)连接的数据线穿过旋转轴(3)的穿轴孔(21)后、与所述导电滑环(19)电连接。

9.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述冷却回路(4)的进液口(8)和回液口(9)均为开设有在所述第二盘体(2)上的螺纹孔。

10.根据权利要求1所述的具有冷却功能的抛光装置,其特征在于,所述驱动组件包括:

从动轮(20),固定套设有所述旋转轴(3)上;

主动轮,通过传送带与所述从动轮(20)绕接;

驱动电机,其驱动轴连接在所述主动轮的轴心处,用于驱动所述主动轮旋转。

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