[发明专利]一种具有冷却功能的抛光装置

说明书

本发明提供的一种具有冷却功能的抛光装置，包括：抛光盘具有上下贴合连接的第一盘体和第二盘体，第二盘体上开设有用于传感器穿过的避让孔；旋转轴连接在第二盘体上，用于驱动抛光盘旋转；冷却回路呈螺旋状盘布在第一盘体与第二盘体之间,冷却回路中适于流通冷却液；冷却回路的进/回液口均连通有软管，该软管穿过旋转轴的穿轴孔后、适于与冷却液箱连通；冷却回路对避让孔进行绕包，冷却液先流经绕包在避让孔周向的冷却回路；驱动组件至少部分设于旋转轴上，用于驱动旋转轴转动。本发明的冷却回路能够对抛光盘进行循环冷却，降低因热影响抛光液的化学反应；避让孔被冷却回路绕包，能够对传感器进行充分冷却，减小因安装传感器导致的散热不均问题。

技术领域

本发明涉及抛光机技术领域，具体涉及一种具有冷却功能的抛光装置。

背景技术

在化学机械抛光技术领域，晶圆夹持在旋转的抛光头下端，旋转的抛光盘上端设置有抛光垫，抛光头上的晶圆与抛光垫之间设置有抛光液，在化学和机械的共同作用下，晶圆实现全局平坦化。

在抛光过程中，抛光盘及带动抛光盘旋转的驱动电机会产生大量的热量；热量一方面会引起工件的热变形，进而影响晶圆的抛光质量，另一方面热量一定程度上影响抛光液的化学反应，从而影响晶圆的抛光效果，故必须采取制冷措施、控制住抛光盘温度。

发明内容

因此，本发明提供一种具有冷却功能的抛光盘及其抛光机。

为了解决上述技术问题，本发明提供的具有冷却功能的抛光装置，包括：

抛光盘，具有上下贴合连接的第一盘体和第二盘体，所述第二盘体上开设有用于传感器穿过的避让孔；

旋转轴，连接在所述第二盘体上，用于驱动所述抛光盘旋转；

冷却回路，呈螺旋状盘布在所述第一盘体与所述第二盘体之间,所述冷却回路中适于流通冷却液；所述冷却回路的进/回液口均连通有软管，该软管穿过所述旋转轴的穿轴孔后、适于与冷却液箱连通；其中，所述冷却回路对所述避让孔进行绕包，冷却液先流经绕包在所述避让孔周向的冷却回路；

驱动组件，至少部分设于所述旋转轴上，用于驱动所述旋转轴转动。

进一步地，所述冷却回路的进/回液口均设置在所述第二盘体中心部位；冷却液流经所述避让孔的周向后，沿所述冷却回路的外圈逐渐向内圈循环流通。

进一步地，所述冷却回路为开设在所述第二盘体上的凹槽，所述凹槽的开口朝向所述第一盘体。

进一步地，所述第二盘体可拆卸的连接在所述旋转轴上。

进一步地，所述旋转轴通过第一连接件与所述第二盘体进行可拆卸连接，所述第一连接件上具有开口朝向所述第二盘体的第一容纳槽，所述第一容纳槽用于容纳预留的软管。

进一步地，所述旋转轴的背离所述第二盘体的一端连接有旋转接头，穿过所述旋转轴的软管与所述旋转接头连通，所述旋转接头适于与冷却液箱连通。

进一步地，所述旋转接头通过第二连接件与所述旋转轴可拆卸连接，所述第二连接件上具有开口朝向所述旋转轴的第二容纳槽，所述第二容纳槽用于容纳预留的软管。

进一步地，所述旋转轴上连接有导电滑环，与传感器连接的数据线穿过旋转轴的穿轴孔后、与所述导电滑环电连接。

进一步地，所述冷却回路的进/回液口均为开设有在所述第二盘体上的螺纹孔。

进一步地，所述驱动组件包括：

从动轮，固定套设有所述旋转轴上；

主动轮，通过传送带与所述从动轮绕接；

驱动电机，其驱动轴连接在所述主动轮的轴心处，用于驱动所述主动轮旋转。

本发明技术方案，具有如下优点：