[发明专利]一种磁控管阴极组件用钎料、钎料的制备方法、钼端帽以及磁控管

权利要求书

1.一种磁控管阴极组件用钎料，其特征在于：组分包含钼、镍以及其他金属；

所述其他金属为钨或所述其他金属为钨和钌两种金属；

其中，所述其他金属为钨，按照质量百分比，其组分由镍10%～70%，钼5%～60%，钨5%～60%组成；

或，所述其他金属为钨和钌，按照质量百分比，其组分由镍10%～70%、钼5%～60%、钨5%～60%和钌1%～9%组成。

2.根据权利要求1所述的磁控管阴极组件用钎料，其特征在于：

其中，所述其他金属为钨，按照质量百分比，其组分由镍20%～60%，钼20%～50%，钨10%～40%组成；

或，所述其他金属为钨和钌，按照质量百分比，其组分由镍20%～60%、钼20%～50%、钨10%～30%和钌1%～9%组成。

3.一种如权利要求1-2任一项所述的磁控管阴极组件用钎料的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：

S100、混合球磨：按一定重量称量钼粉、镍粉和其他金属粉末，倒入球磨罐进行混合和湿法球磨，得到混合粉末;

S200、烘干过筛：将混合粉末进行烘干和过筛；

S300、配制浆料：将过筛后的混合粉末配制成浆料；

S400、端帽点胶：利用点胶的方式，将浆料涂覆到钼端帽上；

S500、烧结钎料：在还原性气氛中，将S400制得的带有钎料的钼端帽于1200℃～1650℃烧结温度下进行烧结0.2～2h,得到磁控管阴极组件用钎料。

4.根据权利要求3所述的磁控管阴极组件用钎料的制备方法，其特征在于：所述S100中，料球重量比为（1:7）～（1:12），球磨转速为400～900r/min，球磨时间为8～30h；

球磨介质为乙醇、正庚烷、甲醇中的一种。

5.根据权利要求3所述的磁控管阴极组件用钎料的制备方法，其特征在于：所述S200中，所用筛网的目数为100～400目。

6.根据权利要求3所述的磁控管阴极组件用钎料的制备方法，其特征在于：所述S300中，将过筛后的混合粉末与有机试剂充分搅拌混合配制得到浆料；

所述有机试剂为乙酸乙酯、环己酮、异佛尔酮中的一种或者多种组合。

7.根据权利要求6所述的磁控管阴极组件用钎料的制备方法，其特征在于：所述有机试剂与混合粉末的重量比为（1: 5）～（1: 10）。

8.一种用于磁控管的钼端帽，其特征在于：所述钼端帽的凹槽处设有钎料；

所述钎料为如权利要求1-2任一项所述磁控管阴极组件用钎料或所述钎料采用如权利要求3-7任一项所述的磁控管阴极组件用钎料的制备方法制备而成。

9.一种磁控管，其特征在于：使用如权利要求8所述的用于磁控管的钼端帽配置而成。