[发明专利]振动元件的制造方法在审
| 申请号： | 202210099654.9 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114826183A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 坂田日和;小林琢郎;西泽龙太;山口启一;白石茂 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 马建军;李庆泽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 振动 元件 制造 方法 | ||
1.一种振动元件的制造方法，该振动元件具有基部以及从所述基部沿着第1方向延伸并沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列的第1振动臂和第2振动臂，在所述第1振动臂的两主面和所述第2振动臂的两主面具有带底的槽，该制造方法包含：
准备工序，准备石英基板；
保护膜形成工序，在所述石英基板的除了槽区域以外的区域形成保护膜，所述槽区域是形成所述槽的区域；以及
干蚀刻工序，隔着所述保护膜对所述石英基板进行干蚀刻而形成所述槽，
设置在所述第1振动臂和所述第2振动臂中的至少任意一方上的所述槽具有沿着所述第2方向排列的第1槽和第2槽。
2.根据权利要求1所述的振动元件的制造方法，其中，
所述干蚀刻工序包括：在所述石英基板的一个主面形成所述槽的第1干蚀刻工序和在所述石英基板的另一个主面形成所述槽的第2干蚀刻工序。
3.根据权利要求2所述的振动元件的制造方法，其中，
在所述保护膜形成工序中，除了所述槽区域和臂间区域之外，形成保护膜，所述臂间区域是形成所述第1振动臂的第1区域与形成所述第2振动臂的第2区域之间的区域，
在所述干蚀刻工序中，同时形成所述槽以及包含所述第1振动臂和所述第2振动臂的振动臂外形。
4.根据权利要求2或3所述的振动元件的制造方法，其中，
在所述第1干蚀刻工序中，在所述一个主面上形成所述槽的同时，形成所述第1振动臂和所述第2振动臂的外形，
在所述第2干蚀刻工序中，在所述另一个主面上形成所述槽的同时，形成所述第1振动臂和所述第2振动臂的外形。
5.根据权利要求2或3所述的振动元件的制造方法，其中，
在所述第1干蚀刻工序和所述第2干蚀刻工序中，使用CHF3作为蚀刻气体。
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