[发明专利]振动元件的制造方法

说明书

振动元件的制造方法。提供槽深的偏差较少、可得到稳定振动特性的振动元件的制造方法。在振动元件的制造方法中，该振动元件的制造方法具有基部以及从所述基部沿着第1方向延伸并沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列的第1振动臂和第2振动臂，在所述第1振动臂的两主面和所述第2振动臂的两主面具有带底的槽，该制造方法包含：准备工序，准备石英基板；保护膜形成工序，在所述石英基板的除了槽区域以外的区域形成保护膜，所述槽区域是形成所述槽的区域；以及干蚀刻工序，隔着所述保护膜对所述石英基板进行干蚀刻而形成所述槽，设置在所述第1振动臂和所述第2振动臂中的至少任意一方上的所述槽具有沿着所述第2方向排列的第1槽和第2槽。

技术领域

本发明涉及振动元件的制造方法。

背景技术

例如，专利文献1记载了通过干蚀刻形成具有带底的槽的音叉振子的方法。具体而言，利用干蚀刻加工中的微负载效应，将槽宽设定为比一对振动臂之间的距离窄，从而将振动臂间的蚀刻深度加工得较深，将槽的蚀刻深度加工得较浅，由此一并形成音叉振子的外形形状和槽。

专利文献1：日本特开2007-13382号公报

但是，在如专利文献1那样利用微负载效应形成槽的情况下，被蚀刻的槽深与槽宽尺寸存在相关性，所以，在将槽宽设定为规定尺寸的情况下，存在有时难以得到希望的槽深的问题。

发明内容

在振动元件的制造方法中，该振动元件具有基部以及从所述基部沿着第1方向延伸并沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列的第1振动臂和第2振动臂，在所述第1振动臂的两主面和所述第2振动臂的两主面具有带底的槽，该制造方法包含：准备工序，准备石英基板；保护膜形成工序，在所述石英基板的除了槽区域以外的区域形成保护膜，所述槽区域是形成所述槽的区域；以及干蚀刻工序，隔着所述保护膜对所述石英基板进行干蚀刻而形成所述槽，设置在所述第1振动臂和所述第2振动臂中的至少任意一方上的所述槽具有沿着所述第2方向排列的第1槽和第2槽。

附图说明

图1是实施方式1的振动器件的侧剖视图。

图2是振动元件的俯视图。

图3是A-A剖面中的振动臂的剖视图。

图4是示出振动元件的制造方法的流程的流程图。

图5是布置有多个振动元件的石英基板的俯视图。

图6A是示出制造工序的一个方式的图。

图6B是示出制造工序的一个方式的图。

图6C是示出制造工序的一个方式的图。

图6D是示出制造工序的一个方式的图。

图6E是示出制造工序的一个方式的图。

图6F是示出制造工序的一个方式的图。

图7是实施方式2的振动臂的剖视图。

图8A是示出制造工序的一个方式的图。

图8B是示出制造工序的一个方式的图。

图8C是示出制造工序的一个方式的图。

图8D是示出制造工序的一个方式的图。

图8E是示出制造工序的一个方式的图。

图8F是示出制造工序的一个方式的图。

图9是实施方式3的振动元件的俯视图。

标号说明