[发明专利]感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(A)碱溶性高分子；

(B)具有烯属不饱和键的化合物；和，

(C)光聚合引发剂，

所述(A)碱溶性高分子的玻璃化转变温度Tg的重量平均值Tg_total为110℃以下，

且含有具有3个以上烯属不饱和键的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其含有具有5个以上烯属不饱和键、且具有环氧烷链的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)碱溶性高分子具有100～600的酸当量和5000～500000的重均分子量，且在其侧链具有芳香族基。

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其含有具有5个以上烯属不饱和键、且具有环氧乙烷链的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。

5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其含有具有环氧乙烷链和二季戊四醇骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。

6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其还含有下述通式(II)所示的化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物，

式(II)中，R₁及R₂分别独立地表示氢原子或甲基，A为C₂H₄，B为C₃H₆，n₁及n₃分别独立地为1～39的整数，且n₁+n₃为2～40的整数，n₂及n₄分别独立地为0～29的整数，且n₂+n₄为0～30的整数，-(A-O)-及-(B-O)-的重复单元的排列可以为无规也可以为嵌段，在为嵌段的情况下，-(A-O)-和-(B-O)-中的任一者在联苯基侧均可。

7.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其还含有下述通式(I)所示的化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物，

式(I)中，R₃～R₆分别独立地表示碳数1～4的烷基，X表示碳数2～6的亚烷基，m₁、m₂、m₃及m₄分别独立地为0～40的整数，m₁+m₂+m₃+m₄为1～40，并且当m₁+m₂+m₃+m₄为2以上时，多个X可以彼此相同或不同。

8.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其含有六芳基双咪唑化合物作为所述(C)光聚合引发剂。

9.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其含有吡唑啉化合物作为所述(C)光聚合引发剂。

10.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其用于直接成像曝光。