[发明专利]晶圆搬运装置

权利要求书

1.一种晶圆搬运装置，其特征在于，包括：

抓取手指，用以抓取表面带有液体的晶圆；

手指驱动机构，所述抓取手指设置于所述手指驱动机构的末端，以驱动所述抓取手指在第一伸出位置和缩回位置之间移动；

废液组件，所述废液组件覆盖所述抓取手指的移动路径，以收集晶圆搬运过程中所述晶圆上滴落的液体。

2.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述废液组件包括若干接液盘和分别连通若干所述接液盘的若干排废管，若干所述排废管之间相互连通，将若干所述接液盘内收集的液体汇总后排出。

3.根据权利要求2所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述接液盘包括设置于所述缩回位置下方的第一接液盘。

4.根据权利要求3所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述接液盘还包括设置于所述第一伸出位置下方的第二接液盘。

5.根据权利要求4所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述第一接液盘和所述第二接液盘共同覆盖所述抓取手指的移动路径。

6.根据权利要求5所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述第一接液盘和所述第二接液盘设置在同一高度，两者侧壁相互接触。

7.根据权利要求5所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述第一接液盘高于所述第二接液盘，所述第一接液盘和所述第二接液盘在所述抓取手指移动路径上的投影部分重叠。

8.根据权利要求4所述的晶圆搬运装置，其特征在于，还包括旋转驱动机构，所述旋转驱动机构连接所述手指驱动机构，以驱动所述手指驱动机构旋转，使所述抓取手指在第二伸出位置和所述缩回位置之间移动。

9.根据权利要求8所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述接液盘还包括辅助接液盘，所述辅助接液盘设置于所述第二伸出位置下方。

10.根据权利要求9所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述旋转驱动机构驱动所述手指驱动机构旋转，使所述抓取手指在第三伸出位置和第四伸出位置与所述缩回位置之间移动，所述第一伸出位置、所述第二伸出位置、所述第三伸出位置和所述第四伸出位置与所述缩回位置之间的连线相互垂直，所述辅助接液盘设置于所述第三伸出位置和所述第四伸出位置的下方。

11.根据权利要求8所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述排废管还包括连通所述第一接液盘的第一排废管。

12.根据权利要求11所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述第一接液盘连接所述手指驱动机构，所述第一接液盘和所述第一排废管随所述手指驱动机构一并转动，所述第一排废管与所述旋转驱动机构的旋转轴同轴。

13.根据权利要求12所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述排废管还包括连通所述第二接液盘的第二排废管。

14.根据权利要求13所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述废液组件还包括汇总接头和汇总管，所述第一排废管、所述第二排废管通过所述汇总接头与所述汇总管相互连通。

15.根据权利要求14所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述第一排废管与所述汇总接头以可旋转的方式相互连通。

16.根据权利要求15所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述汇总接头与所述第一排废管连通的一端为可旋转接口。

17.根据权利要求16所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述第一排废管套设于所述汇总接头的一端内，两者管壁之间留有间隙。