[发明专利]石墨烯金属复合材料及其制备方法在审
申请号: | 202210116860.6 | 申请日: | 2022-02-07 |
公开(公告)号: | CN115029682A | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 沈大勇;王炜;谭化兵;瞿研 | 申请(专利权)人: | 常州第六元素半导体有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/505;C23C16/56;C22C1/10;C22C1/02;C01B32/186;C22C9/00;C22C9/06;C22C19/03;C22C1/05;B22F3/14;C22C47/04;C22C47/06;C22C49/02 |
代理公司: | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人: | 肖淑芳 |
地址: | 213100 江苏省常州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 金属 复合材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,包括:
S1:在金属材料表面生长出石墨烯;
S2:将生长有石墨烯的金属材料升温至其形成烧结或熔融状态,对生长有石墨烯的金属材料施加压力;
S3:对生长有石墨烯的金属材料进行降温。
2.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,所述S1至S3均在同一腔体中完成。
3.根据权利要求2所述的石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,所述S1中,采用气相沉积法实现在金属材料表面生长出石墨烯;
优选的,采用PECVD法实现在金属材料表面生长出石墨烯;
优选的,先将腔体形成真空状态,加热至生长温度,再将生长气氛经过电离后形成等离子体后运输至金属表面,在生长气氛压强下进行生长;
优选地,所述真空状态的真空度为10-6Pa-0.05Mpa,优选1Pa-5000Pa。
4.根据权利要求3所述的石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,所述S1中,所述生长气氛包括氢气,烃类气体,氮气,氩气,乙醇,水汽,氧气中的一种或多种的混合气;优选为氢气和甲烷的混合气体;
优选地,所述生长气氛的压强为1Pa-0.05Mpa,优选为100Pa-5000Pa;
优选地,所述生长温度为300℃-1600℃,优选为400℃-700℃。
5.根据权利要求2所述的石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,所述S2中,在不改变步骤S1的环境的状态下,采用真空热压的方式继续对生长有石墨烯的金属材料升温的同时施压。
6.根据权利要求2所述的石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,所述S2中,将腔体形成真空状态下,采用真空热压的方式继续对生长有石墨烯的金属材料升温和施压。
7.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,所述S2中,升温至300℃-2000℃,优选为700℃-1300℃。
8.根据权利要求1所述的石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,所述施加的压力为0Pa-1000MPa,优选为0.1Mpa-100MPa。
9.根据权利要求1-8任一项所述的石墨烯金属复合材料的制备方法,其特征在于,所述金属材料为Cu、Fe、Co、Ru、Ir、Ni、Pd或Au其中一种或多种的合金;优选为Cu或Ni或铜镍合金;
优选地,所述金属材料的形状为粉末状、条状、片状或块状中的一种或多种的混合状态;
优选地,所述金属材料的表面为洁净表面,或涂布含碳元素的液体或固体的表面,优选为洁净表面。
10.一种石墨烯金属复合材料,其特征在于,包括金属材料和生长出金属材料表面的石墨烯;
优选地,所述石墨烯的体积占比在10-7-10-3;
优选地,所述石墨烯金属复合材料的导电率在110%IASC以上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州第六元素半导体有限公司,未经常州第六元素半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210116860.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:车身后部结构
- 下一篇:与光次组件模组一起使用的光纤定位件
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的