[发明专利]适用于IGBT器件的高温特性参数量产测试方法

权利要求书

1.一种适用于IGBT器件的高温特性参数量产测试方法，其特征是，所述高温特性参数量产测试方法包括如下步骤：

步骤1、提供一IGBT器件样品，并测量所述IGBT器件样品在不同温度下样品器件参考参数的样品器件参考参数测试值，以根据所述IGBT器件样品在不同温度下的样品器件参考参数测试值生成一器件样品测试参考校正基准；

步骤2、对上述IGBT器件样品进行参数校准测试，在参数校准测试时，提供一加载到所述IGBT器件样品的集电极端与发射极端的正电压VCE以及加载到所述IGBT器件样品的门极端与发射极端的正电压VGE，所述正电压VGE为脉冲宽度为Tp的脉冲电压，通过正电压VGE使得IGBT器件样品处于导通状态，并在所述IGBT器件样品导通后，测量所述IGBT器件样品的样品器件参考参数测试值；

根据器件样品测试参考校正基准，确定与样品器件参考参数测试值相对应的当前结温Tvj，若当前结温Tvj与器件样品测试参考基准内的参考基准结温Tvj不匹配时，调节当前相应的正电压VCE、正电压VGE以及脉冲宽度Tp，直至使得调节后当前结温Tvj与器件样品测试参考基准内的基准结温Tvj匹配；

当前结温Tvj与器件样品测试参考基准内的参考基准结温Tvj匹配时，将当前正电压VCE设定为量产测试基准电压VCEJZ，将当前的正电压VGE设定为量产测试基准电压VGEJZ，并将当前的脉冲宽度Tp设定为量产测试基准脉冲宽度TpJZ；

步骤3、对与上述IGBT器件样品同一型号的IGBT器件，在量产测试基准电压VCEJZ、量产测试基准电压VGEJZ以及量产测试基准脉冲宽度TpJZ加载到所述IGBT器件上，以进行所需的高温量产测试。

2.根据权利要求1所述的适用于IGBT器件的高温特性参数量产测试方法，其特征是，步骤1中，所述样品器件参考参数包括器件静态参数或双脉冲开关参数，其中，器件静态参数包括开启阈值电压Vth，饱和导通压降Vce，CE漏电流Ices，栅极漏电流Iges，击穿电压BVces或二极管正向压降VF，所述双脉冲开关参数包括电流上升时间tr，开通延迟时间td，开通损耗Eon，电流下降时间tf，关断延迟时间td或关断损耗Eoff。

3.根据权利要求1所述的适用于IGBT器件的高温特性参数量产测试方法，其特征是，测量IGBT器件样品在不同温度下样品器件参考参数的样品器件参考参数测试值时，将IGBT器件样品的温度从常温逐渐升高至最高工作结温Tvjmax，当IGBT器件样品温度处于预设温度状态时，测量得到相应的样品器件参考参数测试值；

通过将样品器件参考参数测试值与测量所述样品器件参考参数测试值相应的温度状态制成温度特性曲线或温度特性对照表，以利用所制作的温度特性曲线或温度特性对照表形成器件样品测试参考校正基准。

4.根据权利要求1所述的适用于IGBT器件的高温特性参数量产测试方法，其特征是，步骤2中，脉冲宽度Tp为1μs～1ms；

通过正电压VGE使得IGBT器件样品处于导通状态后，经过延迟时间Tdelay后测量所述IGBT器件样品的样品器件参考参数测试值。

5.根据权利要求1至4任一项所述的适用于IGBT器件的高温特性参数量产测试方法，其特征是，所述高温量产测试包括IGBT静态测试、IGBT反偏安全工作区RBSOA测试、IGBT双脉冲动态测试或IGBT短路安全工作区SCSOA测试。

6.根据权利要求1至4任一项所述的适用于IGBT器件的高温特性参数量产测试方法，其特征是，在参数校准测试时，将与IGBT器件样品连接的负载短路。

7.根据权利要求1至4任一项所述的适用于IGBT器件的高温特性参数量产测试方法，其特征是，所述IGBT器件为IGBT单管或IGBT模块。