[发明专利]一种快速排查SE激光异常的处理方法在审
申请号: | 202210135770.1 | 申请日: | 2022-02-15 |
公开(公告)号: | CN114497285A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 曾玉婷;莫建宏;王琳琳;张鹏;常青 | 申请(专利权)人: | 江西中弘晶能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B23K26/38 |
代理公司: | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人: | 刘丹 |
地址: | 344000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 快速 排查 se 激光 异常 处理 方法 | ||
1.一种快速排查SE激光异常的处理方法,其特征在于,对SE激光雕刻图形做标记,按照SE机台,激光器进行编码排序。
2.根据权利要求1所述的一种快速排查SE激光异常的处理方法,其特征在于,编码排序采用标尺,所述标尺的尺面上横向设有精码区和读数区,所述精码区内竖直方向设有间隔相等、大小相同且单列排布的标示圆,各标示圆的圆心距离标尺底面的位置可通过对应设置的读数区计算得到。
3.根据权利要求2所述的一种快速排查SE激光异常的处理方法,其特征在于,所述读数区包括数字标注区和/或粗码区,该粗码区内竖直方向设有间隔相等、大小相同且单列排布的编码块,且每个编码块均等分为M×N个矩形格,其中M、N为正整数,编码块内各矩形格通过填充不同颜色来表示0、1用于二进制编码,编码块的四边设有用于编码块定位的标示框,所述数字标注区内竖直方向设有间隔相等、大小相同的矩形框,且各矩形框内设置自然数。
4.根据权利要求3所述的一种快速排查SE激光异常的处理方法,其特征在于,所述数字标注区设置的自然数表示距离标尺底面的高度,所述粗码区内的二进制编码表示该编码块距离标尺底面的数值,且数字标注区的各矩形框设置间隔大于粗码区的各编码块的设置间隔。
5.根据权利要求4所述的一种快速排查SE激光异常的处理方法,其特征在于,所述标尺的尺面采用黑白两种颜色来突出显示标示圆及读数区读数。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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