[发明专利]蒸镀掩模包装体、蒸镀掩模包装方法及蒸镀掩模的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模包装体，其特征在于，

所述蒸镀掩模包装体具备：

承接部；

盖部，其与所述承接部对置；以及

蒸镀掩模，其被配置在所述承接部与所述盖部之间，具有多个有效区域，所述有效区域形成有贯通孔，

所述承接部具有：与所述盖部对置的第1对置面；和设置于所述第1对置面的凹部，

所述凹部被第1挠性膜覆盖，

所述蒸镀掩模的所述有效区域隔着所述第1挠性膜被配置于所述凹部上,

所述蒸镀掩模的第1方向上的两侧的端部被配置于所述承接部的所述第1对置面上,

所述凹部在与所述第1方向垂直的第2方向上的尺寸大于所述蒸镀掩模在所述第2方向上的尺寸，

在所述蒸镀掩模与所述第1挠性膜之间夹设有插入片，

所述插入片在与所述第1方向垂直的第2方向上的尺寸小于所述凹部在所述第2方向上的尺寸。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，

所述第1挠性膜是PET膜。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，

所述第1挠性膜被进行了防静电涂敷。

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，

在所述盖部与所述蒸镀掩模之间夹设有第2挠性膜。

5.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，

所述承接部和所述盖部通过铰链部连结。

6.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，

所述蒸镀掩模包装体还具备密封所述承接部和所述盖部的密封袋。

7.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，

所述蒸镀掩模包装体还具备冲击传感器，该冲击传感器检测施加于所述蒸镀掩模的冲击。

8.一种蒸镀掩模包装方法，其是对蒸镀掩模进行包装的蒸镀掩模的包装方法，其中，所述蒸镀掩模具有形成有多个贯通孔的有效区域，

其特征在于，

所述蒸镀掩模包装方法具备如下工序：

准备承接部，该承接部具有第1对置面和凹部，所述凹部被设置于所述第1对置面，且被第1挠性膜覆盖；

获得被载置于所述承接部上的所述蒸镀掩模；

将盖部配置于所述蒸镀掩模上而使所述承接部和所述盖部对置；以及

通过所述承接部和所述盖部夹持所述蒸镀掩模，

在配置所述蒸镀掩模的工序中，所述蒸镀掩模的所述有效区域隔着所述第1挠性膜被载置于所述凹部上，

所述蒸镀掩模的第1方向上的两侧的端部被配置于所述承接部的所述第1对置面上,

所述凹部在与所述第1方向垂直的第2方向上的尺寸大于所述蒸镀掩模在所述第2方向上的尺寸，

在所述蒸镀掩模与所述第1挠性膜之间夹设有插入片，

所述插入片在与所述第1方向垂直的第2方向上的尺寸小于所述凹部在所述第2方向上的尺寸。

9.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，

所述蒸镀掩模的制造方法包含如下工序：

供给呈带状延伸的长条金属板；

对长条金属板实施使用了光刻技术的蚀刻，从第1面侧在长条金属板上形成第1凹部；以及

对长条金属板实施使用了光刻技术的蚀刻，从第2面侧在长条金属板上形成第2凹部，

使形成于长条金属板上的第1凹部和第2凹部互相连通，由此在长条金属板上制作出贯通孔，

第1凹部的形成工序是在第2凹部的形成工序之前实施的，

并且，在第1凹部的形成工序与第2凹部的形成工序之间还设置有将制作出的第1凹部密封的工序。