[发明专利]一种半球谐振陀螺谐振子与平板电极装配质量检测方法

权利要求书

1.一种半球谐振陀螺谐振子与平板电极装配质量检测方法，其特征在于：它包括以下步骤：

S1、建立半球谐振陀螺的等效装配间隙d_i与等效装配电容C_ai的关系式，具体过程为：

S11、将半球谐振陀螺平板电极上的8个电极每相邻两个分为一组，则半球谐振子唇沿与平板电极之间的各电极装配间隙分别为d₁₊、d_1-、d₂₊、d_2-、d₃₊、d_3-、d₄₊、d_4-，等效电极装配间隙d_i等于各电极装配间隙的平均值：

i表示平板电极上电极的序号，i＝1,2,3,4；

S12、建立等效装配间隙d_i与等效装配电容C_ai的关系式；

其中，K表示静电常数；

S表示平板电极上的电极e_i+或e_i-与半球谐振子唇沿上的电极e_s的等效正对面积；

S2、建立半球谐振陀螺的模拟电路，将等效装配电容C_ai输入半球谐振陀螺的模拟电路，输出电压VO，确定所述模拟电路的输出电压VO与等效装配电容C_ai的关系式；并测量输出电压VO，得到各等效装配电容C_ai的实际测量值，具体过程为：

S21、建立半球谐振陀螺的模拟电路；

S22、将等效装配电容C_ai输入半球谐振陀螺的模拟电路，输出电压VO；

S23、获得输出电压VO与等效装配电容C_ai的关系式：

其中，R1表示模拟电路导通电阻；

R2表示模拟电路分压电阻；

π表示圆周率；

abs()表示绝对值函数；

j表示虚数单位；

所述S23中获得的输出电压VO与等效装配电容C_ai的关系式为非线性单射关系，所述非线性单射关系满足单调递增条件；

S24、测量输出电压VO，得到各等效装配电容C_ai的实际测量值；

S3、根据S2中得到的各等效装配电容C_ai的实际测量值计算实际平均等效装配电容C_e；根据S2中得到的各等效装配电容C_ai的实际测量值和实际平均等效装配电容C_e计算实际等效装配电容标准差σ_C；

S4、基于理想等效装配电容理想等效装配电容偏差δC_e和理想等效装配电容标准差判断S3中的实际平均等效装配电容C_e与理想等效装配电容的绝对值差值是否小于理想等效装配电容偏差δC_e，实际等效装配电容标准差σ_C是否小于理想等效装配电容标准差若二者均满足小于理想值，则等效装配电容C_ai符合要求，根据等效装配间隙d_i与等效装配电容C_ai的关系式，得到等效装配间隙d_i符合要求，则半球谐振陀螺装配质量合格，相反则等效装配电容C_ai和等效装配间隙d_i均不符合要求，半球谐振陀螺装配质量不合格。

2.根据权利要求1中所述的一种半球谐振陀螺谐振子与平板电极装配质量检测方法，其特征在于：所述S21中建立半球谐振陀螺的模拟电路依次包括信号输入端、晶体振荡器、反相放大器、导通电阻、分压电阻、同相电压跟随器、模拟乘法器、低通滤波器、同相放大器Ⅰ、算术平方根电路、同相放大器Ⅱ和信号输出端。

3.根据权利要求2中所述的一种半球谐振陀螺谐振子与平板电极装配质量检测方法，其特征在于：所述晶体振荡器为温补有源晶振。

4.根据权利要求3中所述的一种半球谐振陀螺谐振子与平板电极装配质量检测方法，其特征在于：所述温补有源晶振的峰值为2V，频率为10kHz。