[发明专利]包括具有均匀的灵敏度的像素的图像传感器在审
申请号: | 202210146728.X | 申请日: | 2022-02-17 |
公开(公告)号: | CN115020431A | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 琴东旻;李允基;朴俊城;李东奎;金范锡;李光熙;李太星 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 赵南;李竞飞 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 具有 均匀 灵敏度 像素 图像传感器 | ||
1.一种图像传感器,包括:
衬底;
第一栅格图案,其设置在所述衬底上,并且包括第一侧壁和与所述第一侧壁相对的第二侧壁;
第一像素,其包括第一光电转换元件和第一滤色器;以及
第二像素,其包括第二光电转换元件和第二滤色器,
其中,所述第一滤色器接触所述第一侧壁,
其中,所述第二滤色器接触所述第二侧壁,
其中,所述第一光电转换元件和所述第二光电转换元件设置在所述衬底内部,
其中,所述第一滤色器和所述第二滤色器设置在所述衬底上,
其中,所述第一滤色器和所述第二滤色器为相同颜色的滤色器,并且
其中,所述第一滤色器的第一厚度大于所述第二滤色器的第二厚度。
2.根据权利要求1所述的图像传感器,还包括:
第二栅格图案,其设置在所述衬底上并且与所述第一栅格图案间隔开,其中,所述第二栅格图案包括第三侧壁和与所述第三侧壁相对的第四侧壁;以及
第三像素,其包括第三光电转换元件和第三滤色器,
其中,所述第三滤色器接触所述第四侧壁,
其中,所述第二滤色器接触所述第三侧壁,
其中,所述第三光电转换元件设置在所述衬底内部,并且
其中,所述第一滤色器至所述第三滤色器各自为相同颜色的滤色器。
3.根据权利要求2所述的图像传感器,其中,所述第三滤色器的第三厚度大于所述第二滤色器的第二厚度。
4.根据权利要求2所述的图像传感器,还包括:
第三栅格图案,其设置在所述衬底上并且包括第五侧壁和与所述第五侧壁相对的第六侧壁;以及
第四像素,其包括第四光电转换元件和第四滤色器,
其中,所述第三滤色器接触所述第五侧壁,
其中,所述第四滤色器接触所述第六侧壁,
其中,所述第四光电转换元件设置在所述衬底内部,并且
其中,所述第一滤色器至所述第四滤色器各自为相同颜色的滤色器。
5.根据权利要求4所述的图像传感器,其中,所述第四滤色器的第四厚度大于所述第二滤色器的第二厚度和所述第三滤色器的第三厚度中的每一个。
6.根据权利要求4所述的图像传感器,其中,与所述第二侧壁相邻的所述第二滤色器的厚度大于与所述第三侧壁相邻的所述第二滤色器的厚度。
7.根据权利要求4所述的图像传感器,其中,所述第二滤色器和所述第三滤色器覆盖所述第二栅格图案。
8.根据权利要求1所述的图像传感器,还包括:
第一微透镜,其覆盖所述第一滤色器,以及
第二微透镜,其覆盖所述第二滤色器,并且
其中,所述第二微透镜的厚度大于所述第一微透镜的厚度。
9.根据权利要求1所述的图像传感器,其中,所述第一滤色器和所述第二滤色器覆盖所述第一栅格图案。
10.根据权利要求1所述的图像传感器,其中,
所述第一栅格图案的上表面被暴露。
11.一种图像传感器,包括:
衬底;
第一栅格图案,其设置在所述衬底上并且包括第一侧壁和与所述第一侧壁相对的第二侧壁;
第一像素,其包括第一光电转换元件和第一滤色器;以及
第二像素,其包括第二光电转换元件和第二滤色器,
其中,所述第一滤色器接触所述第一侧壁,
其中,所述第二滤色器接触所述第二侧壁,
其中,所述第一光电转换元件和所述第二光电转换元件设置在所述衬底内部,
其中,所述第一滤色器和所述第二滤色器设置在所述衬底上,
其中,所述第一滤色器和所述第二滤色器为相同颜色的滤色器,并且
其中,所述第一滤色器具有凸形,并且所述第二滤色器具有凹形。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的