[发明专利]一种多坩埚分段真空镀膜室

权利要求书

1.一种多坩埚分段真空镀膜室，包括真空箱体(20)，所述真空箱体(20)内安装有电机和用于加热待镀材料的电子枪，其特征在于：所述真空箱体(20)前端设有观察机构，所述真空箱体(20)内还转动安装有转动盘(1)，所述电机的输出端与转动盘(1)传动连接，所述转动盘(1)上安装有多个坩埚(11)。

2.根据权利要求1所述的一种多坩埚分段真空镀膜室，其特征在于：所述真空箱体(20)内还转动安装有挡板(2)。

3.根据权利要求2所述的一种多坩埚分段真空镀膜室，其特征在于：所述挡板(2)和转动盘(1)之间安装有传动结构。

4.根据权利要求3所述的一种多坩埚分段真空镀膜室，其特征在于：所述传动结构包括齿轮(31)、齿条(30)、第一转动件(6)和往复架，所述往复架滑动安装在真空箱体(20)上，所述电机带动往复架来回运动，所述齿条(30)固定安装在往复架上，所述齿轮(31)与齿条(30)啮合，所述齿轮(31)和第一转动件(6)均转动安装在真空箱体(20)上，所述齿轮(31)边缘固定安装有第一耳板(311)，所述第一耳板(311)上固定安装有第一转轴(312)，所述第一转动件(6)上固定安装有连接柱(601)，所述连接柱(601)上端径向安装有连接臂(602)，所述挡板(2)固定安装在连接臂(602)的末端，所述第一转动件(6)上还径向开设有第一条形槽(61)，所述第一转轴(312)穿设在第一条形槽(61)内。

5.根据权利要求4所述的一种多坩埚分段真空镀膜室，其特征在于：所述第一转动件(6)于第一条形槽(61)两侧均开设有第一扇形缺口(62)，所述齿轮(31)上固定安装有第一限位圆盘(63)，所述第一限位圆盘(63)的直径尺寸与第一扇形缺口(62)的直径尺寸相同，所述第一限位圆盘(63)上还开设有第一避让缺口(630)。

6.根据权利要求4所述的一种多坩埚分段真空镀膜室，其特征在于：所述传动结构还包括转动安装在真空箱体(20)上的第二转动件(4)和连接板(50)，所述连接板(50)的边缘固定安装有第二耳板(501)，所述第二耳板(501)上固定安装有第三转轴(502)，所述第二转动件(4)固定安装于转动盘(1)的下方，所述第二转动件(4)上均匀开设有多根第二条形槽(401)，所述往复架包括横杆(41)和纵杆(42)，所述横杆(41)端部与纵杆(42)的中部固定连接，所述齿条(30)固定安装在横杆(41)上，所述纵杆(42)上开设有滑动槽(420)，所述连接板(50)与电机的动力输出轴固定连接，所述连接板(50)上固定安装有摆臂(51)，所述摆臂(51)自由端固定安装有第二转轴(52)，所述第二转轴(52)穿设在滑动槽(420)内。

7.根据权利要求6所述的一种多坩埚分段真空镀膜室，其特征在于：所述第二转动件(4)于相邻两个第二条形槽(401)之间开设有第二扇形缺口(402)，所述连接板(50)上还固定安装有第二限位圆盘(5)，所述第二限位圆盘(5)的直径尺寸与第二扇形缺口(402)的直径尺寸相同，所述第二限位圆盘(5)上还开设有第二避让缺口(503)。

8.根据权利要求6所述的一种多坩埚分段真空镀膜室，其特征在于：所述横杆(41)和纵杆(42)之间还倾斜安装有多根斜杆(43)。

9.根据权利要求6所述的一种多坩埚分段真空镀膜室，其特征在于：所述第一转轴(312)、第二转轴(52)和第三转轴(502)上均套设有轴套。