[发明专利]一种多坩埚分段真空镀膜室

说明书

本发明属于镀膜设备技术领域，具体涉及一种多坩埚分段真空镀膜室，包括真空箱体，所述真空箱体内安装有电机和用于加热待镀材料的电子枪，所述真空箱体前端设有观察机构，所述真空箱体内还转动安装有转动盘，所述电机的输出端与转动盘传动连接，所述转动盘上安装有多个坩埚。其目的是：通过多个坩埚对不同的待镀材料进行承接，并由电机对安装有坩埚的转动盘进行旋转，可避免在分段镀膜时，只能通过打开镀膜室，对坩埚内被加热的待镀材料进行更换的方式进行，破坏了镀膜室的真空度，若要继续镀膜，只能重新对镀膜室进行真空抽取，使用不便的问题。

技术领域

本发明属于镀膜设备技术领域，具体涉及一种多坩埚分段真空镀膜室。

背景技术

众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电，使电解液电解，被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上，因此这种镀膜的条件，基体必须是电的良导体，而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成严重的污染。因此，这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。

而真空镀膜技术就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。

现有一种真空镀膜机，采用在真空室内，通过电子枪对坩埚内的待镀材料进行加热，使待镀材料蒸发，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜。

上述真空镀膜机在实际使用过程中，对于被镀基板进行分段镀膜时，只能通过打开镀膜室，对坩埚内被加热的待镀材料进行更换的方式进行，破坏了镀膜室的真空度，若要继续镀膜，只能重新对镀膜室进行真空抽取，使用不便。

发明内容

本发明的目的是：旨在提供一种多坩埚分段真空镀膜室，通过多个坩埚对不同的待镀材料进行承接，并由电机对安装有坩埚的转动盘进行旋转，可避免在分段镀膜时，只能通过打开镀膜室，对坩埚内被加热的待镀材料进行更换的方式进行，破坏了镀膜室的真空度，若要继续镀膜，只能重新对镀膜室进行真空抽取，使用不便的问题。

为实现上述技术目的，本发明采用的技术方案如下：

一种多坩埚分段真空镀膜室，包括真空箱体，所述真空箱体内安装有电机和用于加热待镀材料的电子枪，所述真空箱体前端设有观察机构，所述真空箱体内还转动安装有转动盘，所述电机的输出端与转动盘传动连接，所述转动盘上安装有多个坩埚。

进一步限定，所述真空箱体内还转动安装有挡板。这样的结构设计，在对转动盘进行转动时，可把挡板转动至转动盘正上方，对转动盘进行遮挡，以避免坩埚内剩余的待镀材料，在残余温度下，继续蒸发后，继续溅射到被镀基板上，影响镀膜质量的问题。

进一步限定，所述挡板和转动盘之间安装有传动结构。这样的结构设计，通过传动结构对挡板和转动盘进行连接，可减小电机的使用数量，节约成本。

进一步限定，所述传动结构包括齿轮、齿条、第一转动件和往复架，所述往复架滑动安装在真空箱体上，所述电机带动往复架来回运动，所述齿条固定安装在往复架上，所述齿轮与齿条啮合，所述齿轮和第一转动件均转动安装在真空箱体上，所述齿轮边缘固定安装有第一耳板，所述第一耳板上固定安装有第一转轴，所述第一转动件上固定安装有连接柱，所述连接柱上端径向安装有连接臂，所述挡板固定安装在连接臂的末端，所述第一转动件上还径向开设有第一条形槽，所述第一转轴穿设在第一条形槽内。这样的结构设计，通过电机带动往复架来回运动，即可带动齿轮进行正转和反转，进而带动第一转动件进行正转和反转，实现挡板对转动盘的遮挡和打开，并在遮挡和打开的过程之中，随着第一转动件的转动，当第一转轴脱离第一条形槽后，齿轮继续旋转，不对挡板进行移动，实现挡板的悬停。